[發明專利]銀層的熱處理方法

在審

• 申請號: 201810153629.8
• 申請日: 2012-10-18
• 公開（公告）號: CN108285279A
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: F.里恩哈特;M.普伊托恩
• 申請（專利權）人: 法國圣戈班玻璃廠
• 主分類號: C03C17/36
• 分類號: C03C17/36;C23C14/18;C23C14/58;C23C14/35;H01L51/52
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 黃念

本發明的主題是用于獲得材料的方法，其中該材料包含基材，該基材在它的至少一個面的至少一部分上用包含至少一個銀層的薄層堆疊體涂覆，所述方法包括沉積所述堆疊體的步驟，然后熱處理步驟，所述熱處理通過在0.1毫秒至100秒的照射時間期間使用至少一種非相干光源照射所述堆疊體的表面的至少一部分進行實施，使得所述堆疊體的方塊電阻和/或輻射系數相對地降低至少5%，該銀層或每個銀層在該處理結束時保持連續的。

本申請是以下申請的分案申請：申請日2012年10月18日，申請號201280050807.5，發明名稱“銀層的熱處理方法”。

技術領域

本發明涉及沉積在基材上的銀層的熱處理。

背景技術

銀層，由于它們的光學性質，特別地反射紅外輻射的性質，和/或由于它們的電子傳導性質，特別受重視并且用在非常不同的應用中:在窗玻璃中使用的低輻射層或日光控制層，用于加熱窗玻璃或散熱器的加熱層，或電極，例如在基于有機電致發光二極管的裝置(OLED裝置)中使用的電極。

OLED是通過使用從陽極注入的空穴和從陰極注入的電子的復合能(énergie derecombinaison)的電致發光而發射光。它包含有機電致發光材料，或有機電致發光材料的堆疊體，其被兩個電極圍繞，該電極之一，稱為下電極，通常是陽極，由與基材連接的電極組成，和另一電極，稱為上電極，通常是陰極，被布置在該有機電致發光體系上。

存在不同的OLED構造：

- 底部發射(英文為“bottom emission”)裝置，即具有(半)透明下電極和反射性上電極的裝置；

- 頂部發射(英文為“top emission”)裝置，即具有(半)透明上電極和反射性下電極的裝置；

- 頂和底部發射裝置，即具有(半)透明下電極和(半)透明上電極的裝置。

OLED裝置通常應用在顯示屏或照明裝置中。該下電極必須具有盡可能最低的電阻，盡可能最高的光學透射，并且是特別光滑的：通常需要最多2 nm，甚至1 nm的RMS粗糙度。作為電極，可以使用導電薄層堆疊體，特別地包含至少一個銀層的堆疊體。

銀層還經常地在用于改善熱舒適度的窗玻璃中進行使用:低輻射性窗玻璃(其限制朝向外界的熱損失并因此提高用該窗玻璃裝備的建筑物的能量效率)或日光控制窗玻璃(其限制在建筑物的房間內或在機動車輛的客艙中的熱量進入)。這些層，例如，位于雙層窗玻璃的面2或3上。

無論應用是什么，并且特別地為了防止銀的氧化并且減弱它在可見光中的反射性質，該或每個銀層通常被嵌入層堆疊體中。該或每個薄銀基層可以被設置在兩個基于氧化物或氮化物的薄介電層之間(例如由SnO₂或Si₃N₄制成)。用于促進銀的潤濕和成核的非常薄的層(例如由氧化鋅ZnO制成)還可以被設置在該銀層下和第二非常薄的層(犧牲層，例如由鈦制成)，用于保護該銀層(如果隨后的層的沉積在氧化性氣氛中實施或在引起氧在該堆疊體中的遷移的熱處理的情況下)還可以被設置在該銀層上。這些層分別地被稱為潤濕層和阻隔層。堆疊體還可以包含多個銀層。

所述銀層具有以下特殊性質：當它們為至少部分地結晶的狀態時，它們的電阻率和輻射系數得到改善。通常設法最大地提高這些層的結晶度(結晶材料的重量比或體積比)和晶粒的尺寸(或通過X-射線衍射法進行測量的相干衍射區域的尺寸)。

特別地，眾所周知，具有高結晶度并因此低的無定形銀殘留含量的銀層具有比主要為無定形銀層更低的電阻率和更低的輻射系數以及在可見光中更高的透射。這些層的導電性因此得到改善，低輻射系數也同樣。顆粒的尺寸的提高實際上伴隨有顆粒接縫的降低，這有利于電荷載體的遷移性。