[發明專利]一種基于量子隧道效應的機械式光電開關

有效

• 申請號: 201810152121.6
• 申請日: 2018-02-14
• 公開（公告）號: CN108306632B
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發明（設計）人: 徐慶昊;周琦;鞏旭鵬;靳雷生
• 申請（專利權）人: 南京郵電大學
• 主分類號: H03K17/78
• 分類號: H03K17/78;H03K17/94
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 王素琴

1.一種基于量子隧道效應的機械式光電開關，其特征在于：由兩個機械耦合的機械懸臂梁組成，設定為主動懸臂梁和被動懸臂梁，所述主動懸臂梁和被動懸臂梁一端自由懸掛，另一端通過機械部件耦合，所述主動懸臂梁的末端有金屬電極G，電極G左右兩邊設定有兩個機械固定的電極S和D，在S和D之間一定的直流電壓作用下，所述主動懸臂梁沿水平方向產生自激振蕩，并發生量子隧道效應，并通過機械耦合部件，可以實現和被動懸臂梁之間發生光電信息交換，所述被動懸臂梁自由端制有微鏡；

所述主/被動懸臂梁的長寬高均為：80納米×10納米×10納米；

所述機械部件的長寬高為：1微米×50納米×50納米；

所述電極G、S和D尺寸相同，且長寬高約為5納米×5納米×5納米。

2.根據權利要求1所述的一種基于量子隧道效應的機械式光電開關，其特征在于：采用的器件規格為：

(1)機械耦合參數：k_i＝0.002；

(2)初始電導：G_GS＝G_DG＝1×10^-10S、

(3)初始電容：C_GS＝C_DG＝1×10^-18F、C_GB＝1×10^-18F；

B-連接終端；G_GB-G-B之間等效電導；C_GB-G-B之間等效電容。