[發明專利]曝光系統

在審

• 申請號: 201810150904.0
• 申請日: 2018-02-13
• 公開（公告）號: CN108267828A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 佛山尉達科技有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種曝光系統，包括曝光腔室、光源組件、投影組件、承載臺、固定支撐件、支撐框架；光源組件、投影組件和承載臺均設置于曝光腔室內；光源組件用于產生曝光光線；投影組件設置有連桿構件、支撐構件以及驅動機構；驅動機構包括驅動器、滑輪、連接線，驅動器用于擺動透鏡并將透鏡保持在預定的角度；驅動器包括驅動主體和動力傳遞軸，圓盤狀的滑輪安裝在動力傳遞軸的前端；透鏡的透鏡主體的邊緣部安裝有兩個軌道部件，第一、第二連接部件分別固定在軌道部件的左右方向的中間部分；支撐構件具有安裝臺，安裝臺包括支承構件和支撐部件，驅動器設置在支承構件的板狀部的下表面。本發明能調整曝光系統中的投影組件的透鏡的朝向。

技術領域

本發明涉及曝光技術領域，特別涉及一種曝光系統。

背景技術

傳統的曝光系統一般包括曝光光源和投影鏡片，該曝光光源用于產生曝光光線，并將該曝光光線通過該投影鏡片照射待進行曝光處理的器件。

該投影鏡片在上述傳統的曝光系統中的位置和角度一般是固定的，也就是說，該投影鏡片無法改變其接收曝光光線或輸出曝光光線的角度。

當需要對具有斜面的顯示器件或半導體器件進行曝光處理時，由于上述傳統的曝光系統中的投影鏡片無法改變其朝向，因此上述傳統的曝光系統無法向該具有斜面的顯示器件或半導體器件輸出正對該斜面的曝光光線，從而無法對待進行曝光處理的顯示器件或半導體器件進行更優的曝光處理。

故，有必要提出一種新的技術方案，以解決上述技術問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種曝光系統，其能調整曝光系統中的投影組件的透鏡的朝向。

為解決上述問題，本發明的技術方案如下：

一種曝光系統，所述曝光系統包括曝光腔室、光源組件、投影組件、承載臺、固定支撐件、支撐框架；所述光源組件、所述投影組件和所述承載臺均設置于所述曝光腔室內；所述光源組件用于產生曝光光線，并用于將所產生的所述曝光光線輸出至所述投影組件；所述投影組件設置有連桿構件、支撐構件以及用于擺動所述光源組件的透鏡以改變所述透鏡的角度的驅動機構；所述驅動機構包括驅動器、滑輪、連接線，所述驅動器用于擺動所述透鏡并將所述透鏡保持在預定的角度；所述驅動器包括驅動主體和從所述驅動主體的上表面的中央部分向上延伸的動力傳遞軸，圓盤狀的所述滑輪安裝在所述動力傳遞軸的前端，所述滑輪由所述動力傳遞軸驅動而旋轉；所述透鏡的透鏡主體的邊緣部安裝有兩個軌道部件，第一連接部件、第二連接部件分別固定在所述軌道部件的左右方向的中間部分；所述動力傳遞軸的旋轉力經由所述滑輪和所述連接線傳遞到所述第一連接部件，所述透鏡以中心軸為中心擺動，從而使得所述透鏡朝向預定角度；所述支撐構件具有安裝臺，所述安裝臺包括支承構件和支撐部件，所述驅動器設置在所述支承構件的板狀部的下表面。

優選地，所述驅動器為旋轉氣動驅動器。

優選地，每根所述連接線的一端固定在所述滑輪的周邊部分上。

優選地，每根所述連接線的另一端通過所述滑輪連接到所述第一連接部件。

優選地，所述支承構件的條狀支承件的突出部插入到所述支撐部件的筒狀部內。

優選地，一對所述條狀支承件在各個所述突出部插入所述筒狀部的狀態下在前后方向上分離地向上方延伸。

優選地，所述支承構件安裝在所述支撐部件的上方。

優選地，所述透鏡主體側設置有軸承部。

優選地，設置于所述軸承部的貫通孔內的軸承可擺動地支承第一接收部件、第二接收部件的插入軸部分。

優選地，所述第一接收部件、所述第二接收部件附接于所述支承構件的上端部。

相對現有技術，本發明能調整曝光系統中的投影組件的透鏡的朝向。