[發明專利]曝光裝置在審
| 申請號： | 201810150752.4 | 申請日： | 2018-02-13 |
| 公開（公告）號： | CN108267935A | 公開（公告）日： | 2018-07-10 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 佛山尉達科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 528137 廣東省佛山市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 支承構件 投影組件 光源組件 支撐部件 透鏡 條狀支承件 曝光裝置 支撐構件 安裝臺 承載臺 曝光腔 筒狀部 上下方向延伸 固定支撐件 接收部件 連桿構件 曝光光線 驅動機構 支撐框架 板狀部 上端部 下端部 棱柱 嵌合 下端 有向 室內 穩固 支撐 | ||
1.一種曝光裝置，其特征在于，所述曝光裝置包括曝光腔室、光源組件、投影組件、承載臺、固定支撐件、支撐框架；
所述光源組件、所述投影組件和所述承載臺均設置于所述曝光腔室內；
所述光源組件用于產生曝光光線，并用于將所產生的所述曝光光線輸出至所述投影組件；
所述投影組件具有透鏡、連桿構件、用于擺動地支撐所述透鏡的支撐構件以及用于擺動所述透鏡以改變所述透鏡的角度的驅動機構；
所述支撐構件具有安裝臺，所述安裝臺由支撐部件和設置于所述支撐部件的上端部的支承構件構成，第一接收部件、第二接收部件附接到所述支承構件的上端部；
所述支撐部件是在上下方向延伸的棱柱部件，所述支承構件的下端部形成有向下方突出的錐形部分；
所述支撐部件的上端部的前后方向的兩側面上設置有沿上下方向延伸的中空的筒狀部，所述支承構件包括樁、一對條狀支承件和一個板狀部，形成于所述支承構件上的所述條狀支承件的下端嵌合于所述筒狀部；
所述筒狀部構成插入部分，所述插入部分具有供所述條狀支承件插入的空間，所述條狀支承件的下端部分構成向所述支撐部件突出的突出部。
2.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述突出部通過嵌合于所述筒狀部的內側而由所述支撐部件支承。
3.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述板狀部固定在所述條狀支承件的上端部分上。
4.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述板狀部傾斜以使其后端位于前端的上方。
5.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述板狀部的縱截面大致呈U字形。
6.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述板狀部向下方開口以覆蓋各所述條狀支承件的上端部。
7.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，由所述第一接收部件、所述第二接收部件中的插入軸部分構成的中心軸與所述透鏡的透鏡主體的下表面之間的距離比所述中心軸與安裝于所述透鏡主體的邊緣部的軌道部件的下表面之間的距離小。
8.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述支撐框架包括第一臂體、第二臂體和第三臂體。
9.根據權利要求8所述的曝光裝置，其特征在于，連接塊通過第一旋轉軸在水平方向上可旋轉地連接到所述第一臂體，并且所述第二臂體經由第二旋轉軸在水平方向上連接到所述連接塊。
10.根據權利要求9所述的曝光裝置，其特征在于，所述第一轉動軸支撐第三臂體的基端部分以在豎直方向上旋轉，并且所述第三臂體通過所述第一轉動軸在豎直方向上旋轉。
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