[發明專利]晶體生長界面電信號采集系統

有效

• 申請號: 201810149832.8
• 申請日: 2018-02-13
• 公開（公告）號: CN108468085B
• 公開（公告）日: 2020-09-08
• 發明（設計）人: 朱允中;王彪;劉洋
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: C30B15/22
• 分類號: C30B15/22
• 代理公司: 廣州駿思知識產權代理有限公司 44425
• 代理人: 吳靜芝

1.一種晶體生長界面電信號采集系統，其特征在于：包括坩堝、籽晶桿、晶轉機構和電信號采集單元；所述晶轉機構與外部的爐體絕緣，且包括晶轉桿、聯軸器、雙軸電機和電氣滑環；所述晶轉桿與籽晶桿電氣連接，為空心結構，內部設有導電芯；所述聯軸器的下端與導電芯相連；所述雙軸電機包括電機支架、電機主軸和電機副軸，所述電機主軸與聯軸器的上端相連；所述電氣滑環的固定端固定在電機支架上，自由端與電機副軸電氣連接；所述電信號采集單元包括微電壓計，所述微電壓計的兩端分別與坩堝和電氣滑環的固定端電氣連接。

2.根據權利要求1所述的晶體生長界面電信號采集系統，其特征在于：所述導電芯設有至少一個螺旋狀彎折點。

3.根據權利要求1或2所述的晶體生長界面電信號采集系統，其特征在于：所述微電壓計的兩端分別通過差分濾波電路與坩堝和電氣滑環的固定端連接。

4.根據權利要求3所述的晶體生長界面電信號采集系統，其特征在于：所述差分濾波電路為放大系數為1的二級差分濾波電路。

5.根據權利要求1或2所述的晶體生長界面電信號采集系統，其特征在于：所述晶轉機構還包括電機支撐板，所述電機支撐板與外部的稱重傳感器之間設有剛玉絕緣片，所述剛玉絕緣片與電機支撐板采用剛玉螺栓連接。

6.根據權利要求1或2所述的晶體生長界面電信號采集系統，其特征在于：所述聯軸器為金屬彈性聯軸器。