[發(fā)明專利]一種基于容柵的非接觸式位移傳感器在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810149270.7 | 申請(qǐng)日： | 2018-02-13 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN108362206A | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-08-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 伍活民;陳文錫 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江門市銀象科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/02 | 分類號(hào)： | G01B11/02;G01B7/02;G01D5/56;G01D5/58 |
| 代理公司： | 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205 | 代理人： | 梁嘉琦 |
| 地址： | 529000 廣東省江門市*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 高精度位移傳感器 容柵位移傳感器 容柵 非接觸式位移傳感器 讀數(shù)頭 靜柵 測(cè)量 強(qiáng)光 容柵位移測(cè)量 測(cè)量數(shù)據(jù) 電容變化 動(dòng)?xùn)艈卧?/a> 基礎(chǔ)測(cè)量 精度位移 快速響應(yīng) 位移數(shù)據(jù) 控制器 不敏感 定極板 動(dòng)極板 輸出數(shù) 位移量 磁感 輸出 | ||
1.一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：包括靜柵單元(1)和用于獲取位移數(shù)據(jù)的讀數(shù)頭(2)，所述讀數(shù)頭(2)包括動(dòng)?xùn)艈卧?3)、高精度位移傳感器(4)和用于讀取所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)及高精度位移傳感器(4)的測(cè)量值的控制器(5)，所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)和高精度位移傳感器(4)分別與所述控制器(5)電連接，所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)與所述靜柵單元(1)非接觸的相向設(shè)置組成容柵位移傳感器，所述高精度位移傳感器(4)的工作窗口(41)非接觸的朝向所述靜柵單元(1)；所述讀數(shù)頭(2)沿所述靜柵單元(1)表面移動(dòng)，所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)和高精度位移傳感器(4)分別測(cè)量位移信息并發(fā)送到控制器(5)，由控制器(5)輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述靜柵單元(1)包括反射極(11)和屏蔽極(13)，所述反射極(11)排列成柵狀結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述靜柵單元(1)表面且與所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)及高精度位移傳感器(4)的工作窗口(41)相對(duì)，所述屏蔽極(13)接地。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述靜柵單元(1)為印刷電路板，所述反射極(11)印刷于電路板表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述高精度位移傳感器(4)為激光位移傳感器，所述靜柵單元(1)還包括便于所述激光位移傳感器分辨位移的磨砂絕緣片(12)，所述磨砂絕緣片(12)覆蓋于所述反射極(11)表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述高精度位移傳感器(4)為磁柵位移傳感器，所述靜柵單元(1)還包括便于所述磁柵位移傳感器分辨位移的磁性柵狀膠片(15)，所述磁性柵狀膠片(15)覆蓋于所述反射極(11)表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)包括加載激勵(lì)信號(hào)的發(fā)射極(31)，所述發(fā)射極(31)排列成柵狀結(jié)構(gòu)，設(shè)置于所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)的表面且與所述靜柵單元(1)相對(duì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)為印刷電路板，所述發(fā)射極(31)印刷于電路板表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述動(dòng)?xùn)艈卧?3)還包括用于接收所述靜柵單元(1)上感應(yīng)信號(hào)的接收極(32)，所述接收極(32)與所述控制器(5)電連接。
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