[發明專利]一種基于容柵的非接觸式位移傳感器

在審

• 申請號: 201810149270.7
• 申請日: 2018-02-13
• 公開（公告）號: CN108362206A
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 伍活民;陳文錫
• 申請（專利權）人: 江門市銀象科技有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B7/02;G01D5/56;G01D5/58
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 梁嘉琦

1.一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：包括靜柵單元(1)和用于獲取位移數據的讀數頭(2)，所述讀數頭(2)包括動柵單元(3)、高精度位移傳感器(4)和用于讀取所述動柵單元(3)及高精度位移傳感器(4)的測量值的控制器(5)，所述動柵單元(3)和高精度位移傳感器(4)分別與所述控制器(5)電連接，所述動柵單元(3)與所述靜柵單元(1)非接觸的相向設置組成容柵位移傳感器，所述高精度位移傳感器(4)的工作窗口(41)非接觸的朝向所述靜柵單元(1)；所述讀數頭(2)沿所述靜柵單元(1)表面移動，所述動柵單元(3)和高精度位移傳感器(4)分別測量位移信息并發送到控制器(5)，由控制器(5)輸出。

2.根據權利要求1所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述靜柵單元(1)包括反射極(11)和屏蔽極(13)，所述反射極(11)排列成柵狀結構，設置于所述靜柵單元(1)表面且與所述動柵單元(3)及高精度位移傳感器(4)的工作窗口(41)相對，所述屏蔽極(13)接地。

3.根據權利要求2所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述靜柵單元(1)為印刷電路板，所述反射極(11)印刷于電路板表面。

4.根據權利要求3所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述高精度位移傳感器(4)為激光位移傳感器，所述靜柵單元(1)還包括便于所述激光位移傳感器分辨位移的磨砂絕緣片(12)，所述磨砂絕緣片(12)覆蓋于所述反射極(11)表面。

5.根據權利要求3所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述高精度位移傳感器(4)為磁柵位移傳感器，所述靜柵單元(1)還包括便于所述磁柵位移傳感器分辨位移的磁性柵狀膠片(15)，所述磁性柵狀膠片(15)覆蓋于所述反射極(11)表面。

6.根據權利要求1所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述動柵單元(3)包括加載激勵信號的發射極(31)，所述發射極(31)排列成柵狀結構，設置于所述動柵單元(3)的表面且與所述靜柵單元(1)相對。

7.根據權利要求6所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述動柵單元(3)為印刷電路板，所述發射極(31)印刷于電路板表面。

8.根據權利要求1所述的一種基于容柵的非接觸式位移傳感器，其特征在于：所述動柵單元(3)還包括用于接收所述靜柵單元(1)上感應信號的接收極(32)，所述接收極(32)與所述控制器(5)電連接。