[發(fā)明專利]鋁摻雜氧化鋅膜以及形成其的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810149209.2
• 申請(qǐng)日: 2018-02-13
• 公開（公告）號(hào): CN108455873A
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王希祖;馮如保·特蕾塞;梁燕南;李俊;王飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新加坡科技研究局;愛(ài)杰雅實(shí)業(yè)(新加坡)私人有限公司
• 主分類號(hào): C03C17/25
• 分類號(hào): C03C17/25;C08J7/06
• 代理公司: 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11138
• 代理人: 黎雷

多種實(shí)施方式可以提供一種形成鋁摻雜氧化鋅膜的方法。所述方法可以包括通過(guò)溶液沉積法在基底上形成種晶層。所述方法還可以包括在所述種晶層上沉積包含硝酸鋅和氫氧化鋁的前驅(qū)體溶液。所述方法可以進(jìn)一步包括在等于或低于85℃的溫度下使所述前驅(qū)體溶液與鋁金屬接觸。所述鋁摻雜氧化鋅膜可以由所述前驅(qū)體溶液和所述鋁金屬形成。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉參考

本申請(qǐng)要求于2017年2月17日提交的新加坡申請(qǐng)No.10201701304Q的優(yōu)先權(quán)的權(quán)益，將其內(nèi)容以其整體通過(guò)引用結(jié)合于此，以用于所有目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開內(nèi)容的多個(gè)方面涉及一種鋁摻雜氧化鋅膜。本公開內(nèi)容的多個(gè)方面涉及一種形成鋁摻雜氧化鋅膜的方法。

背景技術(shù)

對(duì)于透明導(dǎo)電膜(TCF)和玻璃的需求在2014年至2024之間處于快速增長(zhǎng)。圖1A是作為年的函數(shù)的市場(chǎng)規(guī)模(以百萬(wàn)美元(USD)為單位)的圖表，其示出了對(duì)于不同透明導(dǎo)電膜的預(yù)期市場(chǎng)占有率。這種市場(chǎng)增長(zhǎng)主要是由便攜式裝置的增長(zhǎng)以及在常規(guī)顯示器應(yīng)用如筆記本電腦和監(jiān)視器中觸摸式穿透所激發(fā)。圖1B示出了觸摸屏的操作示意圖。圖1C示例性地示出了觸摸屏的結(jié)構(gòu)示意圖。觸摸屏可以包括任選的底屏蔽(未顯示)、玻璃、玻璃上的導(dǎo)電涂層(氧化鋁錫(ATO)、氧化銦錫(ITO)或氧化錫(TO))、導(dǎo)電涂層上的電極圖案、電極圖案上的防眩光(AG)硬涂層，以及硬涂層上的頂涂層。移動(dòng)電話市場(chǎng)的組成正隨著智能手機(jī)轉(zhuǎn)化，其已被預(yù)期將其市場(chǎng)占有率由2013年至2023年從55％增加至74％。這轉(zhuǎn)化為觸摸屏供應(yīng)商的新機(jī)會(huì)。

上述氧化銦錫(ITO)層的供應(yīng)是有限的，并且假如缺乏需求量，大多數(shù)供應(yīng)商不愿意轉(zhuǎn)換生產(chǎn)能力。圖1D是作為年的函數(shù)的銦的價(jià)格(以美元/千克或USD/kg為單位)的圖表，其舉例說(shuō)明了近年來(lái)的銦價(jià)格。原生銦的價(jià)格已從2004年的200USD/千克增長(zhǎng)至2006年的1000USD/千克。這轉(zhuǎn)化為見(jiàn)于觸摸屏市場(chǎng)的顯著更高的價(jià)格。圖1E是示出了通過(guò)濺射在塑料基底上形成氧化銦錫(ITO)的示意圖。

復(fù)合年增長(zhǎng)率(CAGR)初始將為20％，但預(yù)期在2023年附近減慢至2-3％。現(xiàn)今，工業(yè)規(guī)模上采用基于等離子體(磁控濺射)、脈沖激光沉積(PLD)、原子層沉積(ALD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)方法，以獲得電阻率為10^-3–10^-4Ωcm，且可見(jiàn)光透過(guò)率>90％的高品質(zhì)氧化鋁鋅(AZO)薄膜，盡管儀器復(fù)雜度造成高投資成本以及限制可擴(kuò)展性。圖1F示出了顯示通過(guò)多種沉積技術(shù)形成的氧化鋁鋅(AZO)膜的多種性能的表格。多種技術(shù)可能涉及高于200°的高溫工藝，可能涉及高真空或高成本設(shè)備，可能涉及復(fù)雜工藝，可能具有高工藝成本，和/或可能不適于柔性基底。

因此，用于AZO薄膜的低成本非真空方法受到巨大關(guān)注。AZO膜可應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦(tablets)和監(jiān)視器中的觸摸屏。可能要求高的薄層電阻(約100-200歐姆/平方)。也可能要求透光率為約90％，盡管這可能根據(jù)應(yīng)用而輕微變化。

公開內(nèi)容

多種實(shí)施方式可以提供一種形成鋁摻雜氧化鋅膜的方法。所述方法可以包括通過(guò)溶液沉積法在基底上形成種晶層。所述方法還可以包括在所述種晶層上沉積包含硝酸鋅和氫氧化銨的前驅(qū)體溶液。所述方法可以進(jìn)一步包括在等于或低于85℃的溫度下使該前驅(qū)體溶液與鋁金屬接觸。鋁摻雜氧化鋅膜可以由該前驅(qū)體溶液和該鋁金屬形成。

多種實(shí)施方式可以涉及一種通過(guò)本文所述的方法形成的鋁摻雜氧化鋅膜。

附圖說(shuō)明

參考被認(rèn)為結(jié)合非限制性實(shí)施例和附圖時(shí)的詳述，將更好地理解本發(fā)明，在附圖中：

圖1A是作為年的函數(shù)的市場(chǎng)規(guī)模(以百萬(wàn)美元(USD)為單位)的圖表，其示出了對(duì)于不同透明導(dǎo)電膜的預(yù)期市場(chǎng)占有率。

圖1B示出了觸摸屏的操作示意圖。