[發(fā)明專利]一種柔性單層導電微結(jié)構人工耳蝸電極及制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810148399.6
• 申請日: 2018-02-13
• 公開（公告）號: CN108261605B
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設計）人: 田嵐;吳瑞安;霍新宇
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: A61N1/05
• 分類號: A61N1/05;C23C14/30;C23C14/14;C23C14/04
• 代理公司: 濟南圣達知識產(chǎn)權代理有限公司 37221
• 代理人: 趙敏玲

1.一種柔性單層導電微結(jié)構人工耳蝸電極，其特征在于，包括一個柔性生物相容性絕緣材料層，在所述柔性生物相容性絕緣材料層的上層是導電金屬層和粘附層，所述的導電金屬層包括電極區(qū)、引線區(qū)和引腳區(qū)；所述的引線區(qū)刻蝕有多條引線，所述的電極區(qū)刻蝕有多個電極，一個電極連接一條引線，在引腳區(qū)有與引線區(qū)每條引線一一對應的引腳；所述電極沿著從遠離引腳端到靠近引腳端逐漸增長；所述的電極區(qū)的電極暴露在外部，與聽神經(jīng)元組織接觸，傳導刺激電信號；所述引線區(qū)在被柔性生物相容性絕緣材料層包裹的內(nèi)部。

2.如權利要求1所述的柔性單層導電微結(jié)構人工耳蝸電極，其特征在于，所述耳蝸電極的針狀電極區(qū)，蝸頂處電極圍繞直徑可為0.2-1.0mm,蝸底處電極圍繞直徑可為1.0-5.0mm。

3.如權利要求1所述的柔性單層導電微結(jié)構人工耳蝸電極的制作方法，其特征在于，如下：

步驟1提供基板，在所述基板上，旋涂柔性生物相容性絕緣材料層；

步驟2在所述的絕緣材料層上旋涂光刻膠，覆上已設計好的掩膜板，曝光；

步驟3曝光后的薄膜在顯影液中顯影，在適當?shù)臏囟认逻M行加熱；

步驟4在上述有光刻膠的一側(cè)使用電子束蒸發(fā)沉積或鍍一層粘附層；

步驟5在上述有光刻膠的一側(cè)使用電子束蒸發(fā)再沉積或鍍一層導電金屬層；

步驟6清洗掉光刻膠，再從硬質(zhì)基板上將已加工固化的帶金屬導電結(jié)構的柔性生物相容性絕緣材料層剝離下來；

步驟7塑形；

步驟8固定封裝。

4.如權利要求3所述的柔性單層導電微結(jié)構人工耳蝸電極的制作方法，其特征在于，

步驟7中塑形的方法是：

以一根長柱形或長錐形細絲做支架棍，以此為軸，以一定角度，從遠離電極區(qū)的引腳邊

開始，絕緣材料面在內(nèi)、導電金屬層在外開始卷曲上述制成的電極陣列薄膜，這樣，使引腳

區(qū)分層暴露在支棍下部，卷曲到最后一圈，將電極區(qū)的各電極近似垂直卷在支棍最外層的上部，并構成近似環(huán)形或U形的導電電極陣列，被卷入的引線區(qū)，各線四周均以絕緣薄膜材

料為間隔，相互隔離絕緣。

5.如權利要求3所述的柔性單層導電微結(jié)構人工耳蝸電極的制作方法，其特征在于，

步驟8的過程是：以適當粘合劑涂抹在電極區(qū)末端內(nèi)側(cè)，粘住卷曲最外層，靜置、固定；隨后，可進行必要電極逐點電特性測量和后續(xù)線路的封裝。

6.如權利要求3所述的柔性單層導電微結(jié)構人工耳蝸電極的制作方法，其特征在于，其中步驟1所述柔性生物相容性絕緣材料層可為聚二甲基硅氧烷或其它柔性生物相容性絕緣材料。