[發明專利]曲面蓋板邊緣曲率測量裝置、測量系統及測量方法

有效

• 申請號: 201810147337.3
• 申請日: 2018-02-12
• 公開（公告）號: CN108398114B
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 蔡孟起
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;武岑飛

1.一種曲面蓋板邊緣曲率測量裝置，其特征在于，所述測量裝置包括基板及柔性膜，所述柔性膜中植入有多個固定設置的距離傳感器，所述距離傳感器用于測量各距離傳感器與基板之間的距離；

其中，當對曲面蓋板的邊緣曲率進行測量時，所述柔性膜用于直接放置于所述基板上，以獲得各距離傳感器與所述基板之間的初始距離，所述柔性膜還用于貼附于已直接放置于所述基板上的待測的曲面蓋板上，以獲得各距離傳感器與所述基板之間的測量距離；

其中，所述測量距離和所述初始距離之差被擬合在二維坐標系中，從而根據所述二維坐標系中擬合到的曲線計算出所述曲面蓋板邊緣曲率。

2.根據權利要求1所述的曲面蓋板邊緣曲率測量裝置，其特征在于，所述柔性膜中的距離傳感器至少覆蓋曲面蓋板的邊緣部分。

3.根據權利要求1所述的曲面蓋板邊緣曲率測量裝置，其特征在于，所述柔性膜的楊氏模量小于或等于預設閾值。

4.根據權利要求1所述的曲面蓋板邊緣曲率測量裝置，其特征在于，所述距離傳感器設于柔性膜的底部。

5.根據權利要求1所述的曲面蓋板邊緣曲率測量裝置，其特征在于，所述柔性膜包括中間區域及邊緣區域，邊緣區域中距離傳感器的分布密度大于中間區域中距離傳感器的分布密度。

6.一種曲面蓋板邊緣曲率測量系統，其特征在于，所述測量系統包括測量裝置及數據處理單元，其中，

所述測量裝置為權利要求1～5中任一項所述的測量裝置；

所述數據處理單元用于計算所述測量距離與所述初始距離之差，并將計算的所述測量距離與所述初始距離之差擬合在二維坐標系中，并根據所述二維坐標系中擬合到的曲線計算出曲面蓋板邊緣曲率。

7.一種曲面蓋板邊緣曲率測量方法，其特征在于，所述測量方法包括：

S0、將植入有多個固定設置的距離傳感器的柔性膜放置于基板上，獲取各距離傳感器與基板之間的初始距離；

S1、將待測曲面蓋板置于基板上，植入有多個固定設置的距離傳感器的柔性膜正面貼附于待測曲面蓋板表面，獲取各距離傳感器與基板之間的測量距離；

S2、將測量距離與初始距離之差擬合在二維坐標系中，并根據所述二維坐標系中擬合到的曲線計算出所述曲面蓋板邊緣曲率。

8.根據權利要求7所述的曲面蓋板邊緣曲率測量方法，其特征在于，所述距離傳感器與基板之間的初始距離均為0。