[發(fā)明專利]一種玻璃基板旋轉(zhuǎn)對位傳輸機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810147027.1 | 申請日: | 2018-02-12 |
| 公開(公告)號: | CN108198777B | 公開(公告)日: | 2023-09-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 安志強;張遼;李海偉;賀海亮 | 申請(專利權(quán))人: | 北京京城清達電子設(shè)備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京華旭智信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11583 | 代理人: | 李麗 |
| 地址: | 102600 北京市大興區(qū)*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 玻璃 旋轉(zhuǎn) 對位 傳輸 | ||
本發(fā)明提供一種玻璃基板旋轉(zhuǎn)對位傳輸機,包括:機架10、對位支撐單元20、旋轉(zhuǎn)升降單元30、主傳輸單元40以及過渡傳輸單元50,其中,對位支撐單元20用于對玻璃基板60進行對位,旋轉(zhuǎn)升降單元30用于調(diào)節(jié)玻璃基板60的高度以及水平方向,主傳輸單元40用于傳輸玻璃基板60以及為玻璃基板60進行初步整形,過渡傳輸單元50用于將玻璃基板60傳輸?shù)剿鲋鱾鬏攩卧?0上,從而實現(xiàn)玻璃基板60的旋轉(zhuǎn)對位。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于大型玻璃自動傳輸連線設(shè)備領(lǐng)域,更具體涉及一種玻璃基板旋轉(zhuǎn)對位傳輸機。
背景技術(shù)
大型玻璃基板的自動傳輸連線設(shè)備是太陽能行業(yè)和液晶行業(yè)產(chǎn)線的關(guān)鍵設(shè)備之一。在大型液晶玻璃基板和太陽能玻璃基板生產(chǎn)的自動傳輸過程中,需要對玻璃基板的位置進行精確調(diào)整,為了滿足生產(chǎn)工藝和自動化進程的需要,一種旋轉(zhuǎn)對位傳輸機應(yīng)用而生,為下道加工工藝提供必要的位置基礎(chǔ),將上游傳輸來的玻璃基板以不同的需求姿態(tài)傳輸至后道加工工序中,以保證玻璃基板位置達到實際加工工藝的精度要求。玻璃的自動旋轉(zhuǎn)對位傳輸機在大型玻璃基板的自動傳輸連線設(shè)備的自動傳輸過程中起著舉足輕重的作用。隨著液晶屏和太陽能發(fā)電基板需求量的不斷增加,傳輸線的自動化程度要求也在不斷提高,在其自動生產(chǎn)連線的傳輸過程中,有多道工序需要對玻璃基板進行旋轉(zhuǎn)對位,玻璃基板旋轉(zhuǎn)對位的運動特性直接影響到玻璃基板的整形定位精度,該大型玻璃旋轉(zhuǎn)對位傳輸機,是根據(jù)玻璃基板的大小及定位整形的實際需求來靈活改善玻璃基板旋轉(zhuǎn)對位的運動特性,從而優(yōu)化基板玻璃的定位整形精度,在滿足生產(chǎn)工藝和性能的基礎(chǔ)上,提高設(shè)備的性能和穩(wěn)定性。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述技術(shù)問題,鑒于上述技術(shù)問題,本發(fā)明一種玻璃基板旋轉(zhuǎn)對位傳輸機,包括:機架10、對位支撐單元20、旋轉(zhuǎn)升降單元30、主傳輸單元40以及過渡傳輸單元50,
其中,對位支撐單元20用于對玻璃基板進行對位,包括UVW平臺21、多個對位鏡頭組件22、多個頂銷支撐組件23,所述UVW平臺?21和多個對位鏡頭組件22安裝在機架10上,所述多個頂銷支撐組件23安裝在UWV平臺21上;
進一步,所述旋轉(zhuǎn)升降單元30用于調(diào)節(jié)玻璃基板的高度以及水平方向,包括多個升降器31、馬達32、升降框架33和旋轉(zhuǎn)頂板34,所述DD馬達32底面安裝于升降框架33上,頂面與旋轉(zhuǎn)頂板34連接,所述升降框架33與多個升降器31連接,所述多個升降器31安裝在機架10上,
進一步,所述主傳輸單元40用于傳輸玻璃基板以及為玻璃基板進行初步整形,包括主傳輸框架41、多個滾輪組件42和整形組件43,所述多個滾輪組件42和整形組件43布置在主傳輸框架41上,所述主傳輸框架41安裝在旋轉(zhuǎn)頂板34上;
所述過渡傳輸單元50用于將玻璃基板傳輸?shù)剿鲋鱾鬏攩卧?0?上,包括多個框架升降裝置51、過渡傳輸框架52和多個過渡滾輪組件53,所述多個過渡滾輪組件53通過軸承均勻布置在過渡傳輸框架?52上,所述過渡傳輸框架52布置在框架升降裝置51上,通過框架升降裝置51實現(xiàn)過渡傳輸框架52和多個過渡滾輪組件53的升降。進一步,所述對位鏡頭組件22包括鏡頭220和支撐鏡頭的支架221,所述鏡頭220設(shè)置在支撐鏡頭的支架221上,可以上下左右移動,所述支撐鏡頭的支架221設(shè)置在機架10上,所述對位鏡頭組件22設(shè)置有兩個,分別對應(yīng)布置在玻璃基板的其中一組對角位置。
進一步,所述多個頂銷支撐組件23包括頂銷托架2300和設(shè)置在頂銷托架上的支撐矩陣,所述支撐矩陣由多個支撐滾球組件2310、多個支撐頂銷組件2320以及多個真空支撐滾球組件2330排列組合構(gòu)成,支撐矩陣的四個角為真空支撐滾球組件2330,支撐矩陣的其余位點由支撐滾球組件2310、支撐頂銷組件2320以及真空支撐滾球組件2330穿插排列構(gòu)成;
所述支撐滾球組件2310包括滾球萬向球2311、滾球支柱2312、滾球?qū)蜉S支座2313,所述滾球支柱通過滾球?qū)蜉S支座固定在頂銷托架上,滾球支柱上面安裝有滾球萬向球,所述滾球萬向球是可以滾動的;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





