[發(fā)明專利]一種太赫茲波電控調制器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810145037.1 | 申請日： | 2018-02-12 |
| 公開（公告）號： | CN108287418B | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陸亞林;蔡宏磊;黃秋萍;鄒崇文 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | G02F1/01 | 分類號： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 趙青朵 |
| 地址： | 230026 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬框 導電金屬條 二氧化釩 太赫茲波 金屬微結構陣列 導熱金屬條 襯底層 調制器 電控 長度方向設置 電導率 金屬微結構 封閉圖案 共振頻率 外加電流 調控 透射 多排 絕緣 兩段 金屬 | ||
1.一種太赫茲波電控調制器，其特征在于，包括：
襯底層和多排金屬微結構陣列；
所述金屬微結構陣列包括設置于襯底層表面的導電金屬條和多個金屬框，所述金屬框沿著所述導電金屬條長度方向設置，所述導電金屬條與所述金屬框形成封閉圖案；
所述金屬框至少由兩段導熱金屬條組成，所述導熱金屬條通過二氧化釩微粒塊連接。
2.根據權利要求1所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，所述金屬框由三段導熱金屬條組成，所述三段導熱金屬條為2條條形金屬條與1條U型金屬條。
3.根據權利要求1或2所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，所述封閉圖案為矩形或正方形。
4.根據權利要求1所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，所述金屬框由三段導熱金屬條組成，所述三段導熱金屬條為2條長短不同的相對設置的條形金屬條與1條U形金屬條。
5.根據權利要求1、2或4所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，所述襯底層的厚度為100μm～1mm，所述金屬微結構陣列的厚度大于等于100nm，所述二氧化釩微粒塊的厚度大于等于90nm。
6.根據權利要求1、2或4所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，所述二氧化釩微粒塊為單晶二氧化釩塊或多晶二氧化釩。
7.根據權利要求1、2或4所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，所述金屬微結構陣列的金屬材料為金、銀或鋁。
8.根據權利要求1、2或4所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，所述襯底層在100Ghz～10THz頻率范圍內為透明物質，所述襯底層的材料為硅或氧化鋁。
9.根據權利要求1、2或4所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，所述金屬微結構陣列均勻設置，所述金屬框均勻設置。
10.根據權利要求1、2或4所述的太赫茲波電控調制器，其特征在于，還包括對所述金屬微結構陣列施加電流的電極、引線、導電線圈與恒流電流源。
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