[發明專利]處理氣體中污染物的等離子體設備

有效

• 申請號: 201810143657.1
• 申請日: 2018-02-09
• 公開（公告）號: CN108079759B
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發明（設計）人: 王雨化
• 申請（專利權）人: 上海睿筑環境科技有限公司
• 主分類號: B01D53/32
• 分類號: B01D53/32;B01D46/00;B01D47/00
• 代理公司: 上海慧晗知識產權代理事務所(普通合伙) 31343
• 代理人: 蘇蕾

1.一種處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，包括：

處理腔，具有氣流入口端及氣流出口端，待處理的氣體從氣流入口端進入，從氣流出口端流出；

若干電極，分布式地固定于所述處理腔的內壁，所述若干電極用于產生等離子體以對流經所述處理腔的待處理的氣體進行等離子體處理以降解氣體中的污染物；

其中，每個電極均包括基底、柱狀結構陣列以及針狀結構陣列，所述柱狀結構陣列形成在所述基底上，所述柱狀結構陣列包括若干柱狀結構；所述針狀結構陣列形成在所述若干柱狀結構外的所述基底上以及所述若干柱狀結構的底部，所述針狀結構陣列包括若干針狀結構。

2.如權利要求1所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，每個電極獨立地接入外部驅動電路，以獨立地由外部電路控制產生等離子體。

3.如權利要求2所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，該設備還包括氣體傳感器，設置在所述處理腔內，用于實時采集所述處理腔內的氣體的濃度信息，并將采集到的氣體的濃度信息反饋給外部控制電路；所述外部控制電路根據接收到的氣體的濃度信息調整所述外部驅動電路的驅動參數。

4.如權利要求3所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，所述處理腔的氣流入口端以及氣流出口端均設置有所述氣體傳感器。

5.如權利要求3或4所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，所述若干電極中的部分電極還接入外部傳感驅動信號，用作所述氣體傳感器。

6.如權利要求1所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，所述若干電極在所述處理腔的軸向等間距分布，在處理腔的徑向截平面上等圓心角分布。

7.如權利要求6所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，在軸向位置相同的平面上的電極的數量不少于2個。

8.如權利要求6所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，所述電極的軸向位置不少于2種。

9.如權利要求6所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，不同徑向截平面上的電極在同一徑向截平面上的投影重合或者呈角度差排列。

10.如權利要求1所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，還包括水洗或濾芯前置處理段，所述水洗或濾芯前置處理段設置在所述處理腔的氣流入口端。

11.如權利要求1或10所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，還包括臭氧處理段，所述臭氧處理段設置在所述處理腔的氣流出口端。

12.如權利要求1所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，所述處理腔的內徑不大于300毫米，所述電極的尺寸不大于3厘米。

13.如權利要求1所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，所述若干柱狀結構的頂端和/或側壁上也形成有針狀結構。

14.如權利要求1所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，所述針狀結構的頂端與金屬顆粒形成異質結結構。

15.如權利要求1所述的處理氣體中污染物的等離子體設備，其特征在于，所述處理腔的數量為多個，多個處理腔串行連接或者并行連接。