[發明專利]一種蒸鍍冷卻板

有效

• 申請號: 201810143221.2
• 申請日: 2018-02-11
• 公開（公告）號: CN108342695B
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 井昱
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種蒸鍍冷卻板，用于精細金屬掩膜系統，其特征在于，包括：

冷卻板；

設置于所述冷卻板的多個磁力單獨可控的磁力單元；

與所述磁力單元一一對應的力學傳感器，每一對相互對應的力學傳感器和磁力單元中，力學傳感器用于檢測磁力單元對應位置的精細金屬掩膜板貼合后對冷卻板的作用力信息；

控制單元，所述控制單元與各所述力學傳感器以及磁力單元連接，用于根據各所述力學傳感器的反饋的作用力信息控制對應的磁力單元的磁力大小。

2.如權利要求1所述的蒸鍍冷卻板，其特征在于，所述冷卻板設置有與所述磁力單元一一對應的開槽，各所述磁力單元設置于所述開槽內。

3.如權利要求1所述的蒸鍍冷卻板，其特征在于，所述冷卻板設置的多個磁力單元依次排列呈網狀單元格分布。

4.如權利要求1所述的蒸鍍冷卻板，其特征在于，所述控制單元與力學傳感器之間通過無線信號連接；或者，

所述控制單元與力學傳感器之間通過有線信號連接。

5.如權利要求1所述的蒸鍍冷卻板，其特征在于，所述力學傳感器為下述傳感器中的一種：

電阻應變片壓力傳感器，半導體應變片壓力傳感器，壓阻式壓力傳感器，電感式壓力傳感器，電容式壓力傳感器，諧振式壓力傳感器，電容式加速度傳感器。

6.如權利要求1所述的蒸鍍冷卻板，其特征在于，所述磁力單元包括用于存儲液態磁鐵的存儲腔、與所述存儲腔連通以向所述存儲腔內注入液態磁鐵以及抽取所述存儲腔內液態磁鐵的管路組件、設置于所述管路組件以控制所述管路組件通斷的執行組件，所述執行組件與所述控制單元信號連接。

7.如權利要求6所述的蒸鍍冷卻板，其特征在于，所述管路組件包括液態磁鐵注入管路和液態磁鐵抽空管路，所述執行組件包括設置于所述液態磁鐵注入管路和液態磁鐵抽空管路的電磁閥。

8.如權利要求1所述的蒸鍍冷卻板，其特征在于，所述磁力單元包括線圈式電磁鐵、與所述線圈式電磁鐵連接以改變通過所述線圈式電磁鐵電流大小的電流調節組件；所述電流調節組件與所述控制單元信號連接。

9.如權利要求8所述的蒸鍍冷卻板，其特征在于，所述電流調節組件包括電流調節器。

10.如權利要求1～9所述的任一冷卻板，其特征在于，所述冷卻板是硅鋼片；或者，

所述冷卻板是鐵氧體。