[發明專利]從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法

在審

• 申請號: 201810142601.4
• 申請日: 2018-02-11
• 公開（公告）號: CN108251893A
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 董金勇;董峰;王俊鋒
• 申請（專利權）人: 中銘瓷(蘇州)納米粉體技術有限公司
• 主分類號: C30B29/62
• 分類號: C30B29/62;C30B29/10;C30B1/10
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 徐洋洋

1.一種從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將所述晶硅切割廢料與有機溶劑和納米級耐高溫熱塑性樹脂混勻，過濾后得到固體廢料；其中，所述晶硅切割廢料中包括硅、氧化鋯、鐵、聚乙二醇和水；所述納米級耐高溫熱塑性樹脂在1100-1600℃下不發生降解、分解或碳化；

(2)將所述固體廢料烘干、燒結后研磨，得到粒徑為1-2μm的原料粉體；其中，所述原料粉體中包括硅、氧化鋯和鐵；

(3)將所述原料粉體與植物纖維在惰性氣體中進行放電等離子燒結，所述惰性氣體的壓強為100-800Pa，在1100-1600℃下反應10-40min，得到所述碳化硅和氧化鋯復合晶須。

2.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(1)中，所述有機溶劑為乙醇和/或丙酮，所述納米級耐高溫熱塑性樹脂為有機硅改性樹脂，包括有機硅改性丙烯酸樹脂、有機硅改性熱塑性酚醛樹脂或有機硅改性環氧樹脂。

3.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(1)中，分別以克和毫升為單位，所述晶硅切割廢料與有機溶劑的質量體積比為1:8-12。

4.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(1)中，所述晶硅切割廢料中包括硅15-35wt％、氧化鋯19-60wt％、鐵1-5wt％、聚乙二醇10-60wt％和水5-10wt％。

5.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(2)中，燒結溫度為1100-1300℃。

6.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(2)中，所述原料粉體中包括硅30-70wt％、鐵5-10wt％，余量為氧化鋯。

7.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(2)中，還包括燒結后堿洗的步驟。

8.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(3)中，所述原料粉體與植物纖維的質量比為1:1-2。

9.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(3)中，所述植物纖維為劍麻纖維、椰殼纖維、菠蘿葉纖維和香蕉莖干纖維中的一種或幾種。

10.根據權利要求1所述的從晶硅切割廢料中回收碳化硅和氧化鋯復合晶須的方法，其特征在于：在步驟(3)中，所述惰性氣體的壓強為300-600Pa，在1300-1500℃下反應20-30min。