[發(fā)明專利]用于助熔劑法生長氮化物單晶的承載結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810133833.3
• 申請日: 2018-02-09
• 公開（公告）號: CN110129887A
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉宗亮;徐科;任國強;王建峰
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
• 主分類號: C30B29/40
• 分類號: C30B29/40;C30B19/02;C30B19/10
• 代理公司: 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 王鋒

1.一種用于助熔劑法生長氮化物單晶的承載結(jié)構(gòu)，其特征在于包括籽晶承載體和支撐機構(gòu)，所述籽晶承載體可升降地設(shè)置于助熔劑法生長氮化物單晶的反應(yīng)容器內(nèi)，所述籽晶承載體與支撐機構(gòu)固定連接，所述支撐機構(gòu)與驅(qū)動機構(gòu)傳動連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐機構(gòu)一端穿入所述反應(yīng)容器內(nèi)并與籽晶承載體固定連接，另一端設(shè)于所述反應(yīng)容器外部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的承載結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐機構(gòu)與反應(yīng)容器之間密封配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的承載結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐機構(gòu)為桿狀；和/或，所述支撐機構(gòu)是金屬材質(zhì)的。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述驅(qū)動機構(gòu)包括步進電機或線性電機。

6.一種用于助熔劑法生長氮化物單晶的系統(tǒng)，包括助熔劑法生長氮化物單晶的反應(yīng)容器，其特征在于還包括權(quán)利要求1-5中任一項所述的承載結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于還包括用于支承所述反應(yīng)容器的托臺，所述支撐機構(gòu)一端穿過所述托臺后進入所述反應(yīng)容器，且所述支撐機構(gòu)與托臺之間密封配合。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的系統(tǒng)，其特征在于還包括控制單元，所述控制單元至少用以控制所述驅(qū)動機構(gòu)的工作狀態(tài)。

9.一種助熔劑法生長氮化物單晶的方法，它是基于權(quán)利要求6-8中任一項所述的系統(tǒng)實施的，其特征在于包括：在進行助熔劑法氮化物單晶的液相外延生長過程中，通過調(diào)控所述籽晶承載體的位置，使設(shè)置在籽晶承載體上的籽晶外延界面始終處于熔液中合適的過飽和度區(qū)域內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的助熔劑法生長氮化物單晶的方法，其特征在于：所述的氮化物單晶包括氮化鎵或氮化鋁單晶。