[發明專利]抗蝕劑剝離液組合物

有效

• 申請號: 201810129150.0
• 申請日: 2018-02-08
• 公開（公告）號: CN108508712B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發明（設計）人: 白鐘旭;崔慶默;洪憲杓;房淳洪
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;宋海花

本發明提供一種抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，包含無機堿及其鹽中的一種以上、單乙醇胺、和具有化學式1的結構的仲乙醇胺。R₁可以為C₁～C₁₀的直鏈或C₃～C₁₀的支鏈脂肪族烴基、含有N的C₄～C₁₀的雜環基、C₆～C₁₀的芳香族烴基、或C₅～C₁₀的環烷基。所述抗蝕劑剝離液組合物對于抗蝕劑的溶解力、剝離力優異，張數經時效果優異，且相穩定性優異。

技術領域

本發明涉及抗蝕劑剝離液組合物。

背景技術

濾色器(color filter)可通過內置于互補金屬氧化物半導體(complementarymetal oxide semiconductor，CMOS)或電荷耦合元件(charge coupled device，CCD)之類的圖像傳感器的彩色攝影裝置內來用于實際獲得彩色圖像，除此之外，也廣泛應用于攝影元件、等離子體顯示器面板(PDP)、液晶顯示裝置(LCD)、場發射顯示器(FED)和發光顯示器(LED)等中，其應用范圍正在迅速擴大。特別是，近年來LCD的用途進一步擴大，因此認為在再現LCD的色彩方面濾色器是最重要的構件之一。

濾色器基板由紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)圖案和起到用于阻斷各像素之間的漏光并提高對比的作用的黑矩陣、以及對液晶盒施加電壓的共用電極構成。

濾色器是通過將根據用途選擇的黑矩陣材料涂布于玻璃基板上、形成黑色掩模圖案后、利用光刻工序形成彩色抗蝕劑圖案而制造。

這樣的濾色器制造工序中，會不可避免地發生彩色抗蝕劑圖案的不良，如果彩色抗蝕劑一旦固化，則幾乎不可能僅通過對錯誤的部分去除來進行修理，并且幾乎沒有能夠將彩色抗蝕劑去除的溶劑，因此就不良的濾色器而言，無法進行修理等重新加工，大部分會被直接廢棄處理，因而存在生產率降低的問題。

為了解決該問題，開發了用于將固化的彩色抗蝕劑去除的組合物。

抗蝕劑大體可以分為正型抗蝕劑和負型抗蝕劑，與去除相對容易而可被以有機溶劑為基礎的剝離劑在40～50℃的溫度條件下在1分鐘內去除的正型抗蝕劑不同，負型抗蝕劑具有固化度高、熱處理后變硬而難以剝離去除的特性。因此，為了去除負型抗蝕劑，在70℃以上的溫度條件下需要5分鐘以上的時間，因此要求更強的剝離性能。

但是，如果在加熱至70～80℃的溫度的狀態下浸漬一定時間而進行處理，則此時可能發生如下問題：留在剝離液中的20～30％的水分發生蒸發，因該蒸發而引起溶液的透明度發生變化，產生沉淀物等抗蝕劑剝離液的穩定性降低。

韓國注冊專利公報第10-2009-0075516號公開了一種TFT LCD用彩色抗蝕劑剝離液組合物，但并沒有公開針對上述問題的對策。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：韓國注冊專利公報第10-2009-0075516號

發明內容

所要解決的課題

本發明的目的在于，提供一種抗蝕劑剝離液組合物，其對于抗蝕劑的溶解力、剝離力優異，張數經時效果優異，且相穩定性優異。

解決課題的方法

本發明提供一種抗蝕劑剝離液組合物，其特征在于，包含無機堿及其鹽中的一種以上、單乙醇胺和具有化學式1的結構的仲乙醇胺。

[化學式1]