[發明專利]一種涂覆TiO2薄膜的光波導型微環諧振腔濕度傳感器的制備方法在審
| 申請號： | 201810127881.1 | 申請日： | 2018-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN108469416A | 公開（公告）日： | 2018-08-31 |
| 發明（設計）人： | 閆樹斌;王一飛;張勐;王夢夢;趙學峰;張彥軍;薛晨陽;張文棟 | 申請（專利權）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | G01N21/25 | 分類號： | G01N21/25 |
| 代理公司： | 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 國省代碼： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濕度傳感器 微環諧振腔 光波導型 涂覆 制備 光譜儀 濕敏薄膜 反應時間短 環形諧振腔 波長漂移 波導結構 電磁干擾 光學領域 輸出光柵 系統領域 諧振現象 諧振 光波 可觀測 靈敏度 輸出譜 體積小 諧振腔 折射率 直波導 回廊 光刻 測量 觀測 吸收 制作 應用 | ||
【權利要求書】：
1.一種涂覆TiO2薄膜的光波導型微環諧振腔濕度傳感器的制備方法,其特征在于包括以下步驟：
第一步：SOI基片清洗；
第二步：勻膠，在清洗后的SOI基片頂層表面勻一層光刻膠；
第三步：采用電子束曝光系統對SOI基片頂層表面上的光刻膠進行曝光，并進行顯影、定影處理，在光刻膠層上留下直波導狀和微環諧振腔狀的膠層，以及直波導狀膠層兩側的光柵結構膠層；
第四步：ICP深硅刻蝕，完成對SOI基片頂層表面Si的刻蝕，膠層下方的Si得到保留；
第五步：將完成腐蝕的SOI基片放入丙酮溶液中進行清洗去膠處理，并用去離子水清洗，氮氣吹干，得到光波導、微環諧振腔和光柵結構；
第六步：在加工得到的微環諧振腔和直波導的表層上，涂覆一層用TiO2制成的濕敏薄膜，并最終完成SOI硅基光學微環諧振腔濕度傳感器的制備。
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