[發明專利]一種晶圓搬運機械手

在審

• 申請號: 201810127645.X
• 申請日: 2018-02-08
• 公開（公告）號: CN108356804A
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 陳勝華
• 申請（專利權）人: 寧波潤華全芯微電子設備有限公司
• 主分類號: B25J9/04
• 分類號: B25J9/04;B25J9/12;B25J17/02
• 代理公司: 北京君恒知識產權代理事務所(普通合伙) 11466
• 代理人: 金弘毅

一種晶圓搬運機械手，涉及一種半導體制造技術，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，伸展電機、一級關節、二級關節和所述的三級關節依次傳動，手指固定座始終保持直線運動。與現有技術相比，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

技術領域

本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術

在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。

發明內容

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

上述技術方案中，優選的，所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節的傳動比為1:2:1。

上述技術方案中，優選的，所述的伸展電機通過諧波減速機驅動所述一級伸展臂轉動。

上述技術方案中，優選的，所述的一級關節上設置有一級同步輪，所述的二級關節上設置有二級同步輪，所述的一級同步輪和所述的二級同步輪通過一級同步帶傳動連接。

上述技術方案中，優選的，所述的一級伸展臂內還設置有與所述一級同步帶相配合的一級張緊輪。

上述技術方案中，優選的，所述的二級關節上設置有三級同步輪，所述的三級關節上設置有四級同步輪，所述的三級同步輪和所述的四級同步輪通過二級同步帶傳動連接。

上述技術方案中，優選的，所述的二級伸展臂內還設置有與所述二級同步帶相配合的二級張緊輪。

上述技術方案中，優選的，所述的手指固定座上設置有插槽，所述的插槽內可拆卸安裝晶圓固定裝置。

上述技術方案中，優選的，所述的晶圓固定裝置包括真空吸盤、氣缸機械手。

上述技術方案中，優選的，所述的手指固定座上還設置有掃描傳感器。