[發(fā)明專利]硅基OLED微顯示器的對位裝置及制作系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810123727.7
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN108565359A
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳疆
• 申請（專利權(quán)）人: 上海瀚蒞電子科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/68;C23C14/04
• 代理公司: 蘇州攜智匯佳專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32278
• 代理人: 尹麗

1.一種硅基OLED微顯示器的對位裝置，包括硅基底、位于所述硅基底下方的掩膜板以及位于所述硅基底上方的對位鏡頭，其特征在于：所述硅基底上開設(shè)有貫穿所述硅基底的第一孔，所述掩膜板上對應開設(shè)有第二孔，且所述第一孔的尺寸大于所述第二孔的尺寸，以便所述對位鏡頭透過所述第一孔和第二孔，抓取到所述掩膜板上的對位標記。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，其特征在于：所述第二孔貫穿所述掩膜板設(shè)置，所述掩膜板的底部設(shè)有圓柱體，所述圓柱體對應設(shè)于所述第二孔的下方且具有與所述掩膜板相接觸的接觸面，所述對位標記位于所述接觸面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，其特征在于：所述圓柱體的接觸面上涂覆有黑色油墨，該黑色油墨即為所述對位標記。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，其特征在于：所述圓柱體磁性吸附于所述掩膜板的底部。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，其特征在于：所述圓柱體由不銹鋼材質(zhì)制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，其特征在于：所述第一孔和所述第二孔均呈規(guī)則形狀設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，其特征在于：所述第一孔和所述第二孔均呈圓形設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，其特征在于：所述第一孔開設(shè)于所述硅基底的兩端邊緣處，所述第二孔對應開設(shè)于所述掩膜板的兩端邊緣處。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，其特征在于：所述第一孔和所述第二孔均通過刻蝕形成。

10.一種硅基OLED微顯示器的制作系統(tǒng)，包括蒸鍍腔室和位于所述蒸鍍腔室底部的蒸發(fā)源，其特征在于：還包括權(quán)利要求1-9中任一項所述的硅基OLED微顯示器的對位裝置，且所述硅基OLED微顯示器的對位裝置收容于所述蒸鍍腔室內(nèi)并位于所述蒸發(fā)源的上方。