[發(fā)明專利]一種新型弧形VCSEL發(fā)光陣列、制作方法、控制系統(tǒng)和控制方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810118042.3
• 申請(qǐng)日: 2018-02-06
• 公開（公告）號(hào): CN108493766A
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉萌;楊濤;王彥丁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院
• 主分類號(hào): H01S5/183
• 分類號(hào): H01S5/183
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立;吳佳

1.一種新型弧形VCSEL發(fā)光陣列的制作方法，其特征在于,該制作方法包括：

采用激光束對(duì)曲面弧形基底上的所述VCSEL陣列單元表面上的電極層進(jìn)行逐點(diǎn)掃描加工，得到新型弧形VCSEL發(fā)光陣列。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型弧形VCSEL發(fā)光陣列的制作方法，其特征在于，所述采用激光束對(duì)曲面弧形基底上的所述VCSEL陣列單元表面上的電極層進(jìn)行逐點(diǎn)掃描加工包括：

采用fs脈寬的激光光源發(fā)射的所述激光束依次經(jīng)過聚焦透鏡和激光掃描振鏡后射在所述VCSEL陣列單元表面上，并對(duì)所述VCSEL陣列單元表面上的電極層進(jìn)行逐點(diǎn)掃描，燒蝕掉所述VCSEL陣列單元表面上不用的電極層，得到所述新型弧形VCSEL發(fā)光陣列。

3.一種新型弧形VCSEL發(fā)光陣列，其特征在于，所述新型弧形VCSEL發(fā)光陣列采用如權(quán)利要求1或2所述的制作方法得到的。

4.一種基于新型弧形VCSEL發(fā)光陣列的控制系統(tǒng)，其特征在于,該控制系統(tǒng)包括：如權(quán)利要求3所述的新型弧形VCSEL發(fā)光陣列、微透鏡陣列、邏輯控制電路；

在所述新型弧形VCSEL發(fā)光陣列的邊沿上設(shè)置所述微透鏡陣列，且由所述微透鏡陣列排布成的弧面基準(zhǔn)面與所述新型弧形VCSEL發(fā)光陣列的基底弧面同心；

所述新型弧形VCSEL發(fā)光陣列中的每個(gè)發(fā)光單元的電極分別與所述邏輯控制電路連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述微透鏡陣列包括：多個(gè)微透鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)微反射鏡分別與所述新型弧形VCSEL發(fā)光陣列中的每個(gè)發(fā)光單元一一對(duì)應(yīng)，其中通過設(shè)置每個(gè)微反射鏡不同的反射角度，每個(gè)發(fā)射單元發(fā)出的光與水平面垂直方向上呈預(yù)設(shè)角度的發(fā)射角。

7.根據(jù)權(quán)利要求4-6任一所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述新型VCSEL發(fā)光陣列與所述反射鏡陣列連接包括：

所述新型弧形VCSEL發(fā)光陣列通過粘接玻璃與所述微透鏡陣列連接。

8.一種基于新型弧形VCSEL發(fā)光陣列的控制方法，其特征在于，該控制方法包括：

邏輯控制電路根據(jù)接收到的發(fā)光指令控制新型VCSEL發(fā)光陣列中發(fā)光單元的發(fā)光順序；

根據(jù)所述發(fā)光順序，分別設(shè)置每個(gè)微反射鏡不同的反射角度，以使所述新型弧形VCSEL發(fā)光陣列中每個(gè)發(fā)射單元發(fā)出的光與水平面垂直的方向上呈預(yù)設(shè)角度的發(fā)射角。