[發明專利]圖像傳感器及其形成方法有效
| 申請號： | 201810117586.8 | 申請日： | 2018-02-06 |
| 公開（公告）號： | CN108364966B | 公開（公告）日： | 2021-03-02 |
| 發明（設計）人： | 呂相南;北村陽介;黃曉櫓 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L27/146 | 分類號： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 武振華;吳敏 |
| 地址： | 223302 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖像傳感器 及其 形成 方法 | ||
1.一種圖像傳感器，其特征在于，包括：
半導體襯底；
像素器件，位于所述半導體襯底內；
濾光器矩陣，位于所述半導體襯底的表面，每個所述濾光器矩陣包括多個最小重復單元，所述最小重復單元至少包含第一綠色濾光器以及第二綠色濾光器，所述第一綠色濾光器與所述第二綠色濾光器的厚度不同；
其中，所述最小重復單元還包括紅色濾光器和藍色濾光器；
所述第一綠色濾光器的厚度大于所述第二綠色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度與所述紅色濾光器、藍色濾光器的厚度相同；
或者，
所述第一綠色濾光器的厚度大于所述紅色濾光器、藍色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度小于所述紅色濾光器、藍色濾光器的。
2.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，在所述第一綠色濾光器的厚度大于所述第二綠色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度與所述紅色濾光器、藍色濾光器的厚度相同的情況下，所述第一綠色濾光器的厚度為750nm至850nm。
3.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，在所述第一綠色濾光器的厚度大于所述紅色濾光器、藍色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度小于所述紅色濾光器、藍色濾光器的情況下，所述第一綠色濾光器的厚度為750nm至850nm，所述第二綠色濾光器的厚度為550nm至650nm。
4.一種圖像傳感器的形成方法，其特征在于，包括：
提供半導體襯底，所述半導體襯底內具有像素器件；
在所述半導體襯底的表面形成濾光器矩陣，每個所述濾光器矩陣包括多個最小重復單元，所述最小重復單元至少包含第一綠色濾光器以及第二綠色濾光器，所述第一綠色濾光器與所述第二綠色濾光器的厚度不同；
其中，所述最小重復單元還包括紅色濾光器和藍色濾光器；
所述第一綠色濾光器的厚度大于所述第二綠色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度與所述紅色濾光器、藍色濾光器的厚度相同；
或者，
所述第一綠色濾光器的厚度大于所述紅色濾光器、藍色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度小于所述紅色濾光器、藍色濾光器的。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的；包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的；包括有熱磁組件的
