[發(fā)明專利]圖像傳感器及其形成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810117586.8
• 申請日: 2018-02-06
• 公開（公告）號: CN108364966B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂相南;北村陽介;黃曉櫓
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 武振華;吳敏

1.一種圖像傳感器，其特征在于，包括：

半導(dǎo)體襯底；

像素器件，位于所述半導(dǎo)體襯底內(nèi)；

濾光器矩陣，位于所述半導(dǎo)體襯底的表面，每個所述濾光器矩陣包括多個最小重復(fù)單元，所述最小重復(fù)單元至少包含第一綠色濾光器以及第二綠色濾光器，所述第一綠色濾光器與所述第二綠色濾光器的厚度不同；

其中，所述最小重復(fù)單元還包括紅色濾光器和藍(lán)色濾光器；

所述第一綠色濾光器的厚度大于所述第二綠色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度與所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的厚度相同；

或者，

所述第一綠色濾光器的厚度大于所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度小于所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，在所述第一綠色濾光器的厚度大于所述第二綠色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度與所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的厚度相同的情況下，所述第一綠色濾光器的厚度為750nm至850nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，在所述第一綠色濾光器的厚度大于所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度小于所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的情況下，所述第一綠色濾光器的厚度為750nm至850nm，所述第二綠色濾光器的厚度為550nm至650nm。

4.一種圖像傳感器的形成方法，其特征在于，包括：

提供半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底內(nèi)具有像素器件；

在所述半導(dǎo)體襯底的表面形成濾光器矩陣，每個所述濾光器矩陣包括多個最小重復(fù)單元，所述最小重復(fù)單元至少包含第一綠色濾光器以及第二綠色濾光器，所述第一綠色濾光器與所述第二綠色濾光器的厚度不同；

其中，所述最小重復(fù)單元還包括紅色濾光器和藍(lán)色濾光器；

所述第一綠色濾光器的厚度大于所述第二綠色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度與所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的厚度相同；

或者，

所述第一綠色濾光器的厚度大于所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的厚度，所述第二綠色濾光器的厚度小于所述紅色濾光器、藍(lán)色濾光器的。