[發(fā)明專利]過(guò)濾裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810117233.8
• 申請(qǐng)日: 2018-02-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108117197A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張鵬飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C02F9/04
• 分類(lèi)號(hào): C02F9/04;C02F103/02
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強(qiáng)

本申請(qǐng)涉及液晶面板制造領(lǐng)域，一種過(guò)濾裝置，裝備于顯影機(jī)的水洗循環(huán)系統(tǒng)中。所述過(guò)濾裝置包括儲(chǔ)水器、加藥器和濾網(wǎng)，所述儲(chǔ)水器串聯(lián)于所述水洗循環(huán)系統(tǒng)中，所述加藥器位于所述進(jìn)水管和所述濾網(wǎng)之間，所述加藥器用于向所述儲(chǔ)水器內(nèi)注入高分子絮凝劑，以使得清潔用水中的光阻殘?jiān)c所述高分子絮凝劑發(fā)生作用形成絮凝團(tuán)，從而被所述濾網(wǎng)過(guò)濾。本過(guò)濾裝置可以將細(xì)微的光阻殘?jiān)ㄟ^(guò)絮凝形成大直徑的絮凝團(tuán)，絮凝團(tuán)被所述濾網(wǎng)過(guò)濾后與清潔用水剝離，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)顯影機(jī)的水洗循環(huán)系統(tǒng)對(duì)光阻殘?jiān)倪^(guò)濾，清潔用水得以循環(huán)利用。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及液晶面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種顯影機(jī)的水洗循環(huán)系統(tǒng)中的過(guò)濾裝置。

背景技術(shù)

顯影機(jī)是液晶面板制造行業(yè)中必不可少的設(shè)備，顯影機(jī)中的水洗循環(huán)系統(tǒng)用于清洗玻璃基板表面的部分光阻。當(dāng)前顯影機(jī)中的水洗循環(huán)系統(tǒng)通常將廠端直供的清潔用水供入第一腔室以清洗基板，并將清洗后的用水進(jìn)行收集，待其回流進(jìn)入儲(chǔ)水器后，再經(jīng)光阻濾芯過(guò)濾后，由水泵打入第二腔室。基板在第一腔室清洗后，再進(jìn)入第二腔室進(jìn)行二次清洗，以保證基板的洗凈效果。同時(shí)，這樣的操做還能起到循環(huán)用水的作用，利于節(jié)約。

由于水中的光阻殘?jiān)郊?xì)至微米級(jí)，為了保證回收利用的清潔用水具備良好的過(guò)濾效果，需要采用孔徑10～0.45um的專用光阻濾芯。此類(lèi)光阻濾芯的價(jià)格高昂，且壽命較短，長(zhǎng)期使用過(guò)程中極易造成堵塞，需頻繁更換新光阻濾芯，成本相應(yīng)升高。進(jìn)一步的，還易形成產(chǎn)線擠壓，造成現(xiàn)場(chǎng)管控及人力成本的浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)本提出一種過(guò)濾裝置，可以有效替代光阻濾芯或延長(zhǎng)光阻濾芯的使用壽命，降低生產(chǎn)成本。本申請(qǐng)包括如下技術(shù)方案：

一種過(guò)濾裝置，裝備于顯影機(jī)的水洗循環(huán)系統(tǒng)中，所述過(guò)濾裝置包括儲(chǔ)水器、加藥器和濾網(wǎng)；所述儲(chǔ)水器通過(guò)進(jìn)水管和出水管串聯(lián)于所述水洗循環(huán)系統(tǒng)中；所述加藥器位于所述進(jìn)水管和所述濾網(wǎng)之間，所述加藥器用于向所述儲(chǔ)水器內(nèi)注入高分子絮凝劑，以使得所述儲(chǔ)水器內(nèi)清潔用水中的光阻殘?jiān)c所述高分子絮凝劑發(fā)生作用形成絮凝團(tuán)；所述濾網(wǎng)用于過(guò)濾所述絮凝團(tuán)。

其中，所述儲(chǔ)水器中還設(shè)有攪拌器，所述攪拌器用于促進(jìn)光阻殘?jiān)c所述高分子絮凝劑的結(jié)合。

其中，所述攪拌器與所述濾網(wǎng)在所述儲(chǔ)水器中分列所述進(jìn)水管一端和所述出水管一端。

其中，所述出水管與所述水洗循環(huán)系統(tǒng)的水泵連接，所述水泵用于將過(guò)濾后的清潔用水增壓以用于清洗，所述過(guò)濾裝置還包括串聯(lián)于所述出水管和所述水泵之間的蓄水器，所述蓄水器用于聚集過(guò)濾后的清潔用水以供給所述水泵。

其中，所述蓄水器還設(shè)有中和器，所述中和器用于向所述蓄水器內(nèi)注入分散劑，以調(diào)整所述蓄水器內(nèi)清潔用水的水質(zhì)。

其中，所述蓄水器中設(shè)有傳感器和控制器，所述傳感器、所述控制器和所述中和器電連接，所述傳感器用于感應(yīng)所述蓄水器中清潔用水的水質(zhì)，所述控制器通過(guò)所述傳感器反饋的水質(zhì)信號(hào)以控制所述中和器的分散劑注入量。

其中，所述過(guò)濾裝置還包括串聯(lián)于所述出水管和所述水泵之間的光阻濾芯，所述光阻濾芯用于過(guò)濾清潔用水中未與所述高分子絮凝劑發(fā)生結(jié)合的光阻殘?jiān)?/p>

其中，所述儲(chǔ)水器中的所述攪拌器為多個(gè)，多個(gè)所述攪拌器沿所述儲(chǔ)水器中的水流方向依次排布，多個(gè)所述攪拌器用于使光阻殘?jiān)退龈叻肿有跄齽┙Y(jié)合更充分。

其中，相鄰兩個(gè)所述攪拌器的旋向和/或轉(zhuǎn)速不同，以促進(jìn)光阻殘?jiān)退龈叻肿有跄齽┑慕Y(jié)合。

其中，所述加藥器設(shè)置于兩個(gè)所述攪拌器之間，以使得所述高分子絮凝劑從兩個(gè)所述攪拌器之間注入所述儲(chǔ)水器。