[發明專利]涂敷裝置和涂敷方法

在審

• 申請號: 201810116963.6
• 申請日: 2018-02-06
• 公開（公告）號: CN108417712A
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 三根陽介;宮崎一仁
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本發明提供一種能夠提高基片的位置控制性的涂敷裝置。該涂敷裝置，其使功能液的液滴在基片的著液位置在主掃描方向和副掃描方向上移動，在基片上描繪功能液的描繪圖案，包括：利用氣體的風壓使基片浮起在規定的高度的臺部；液滴排出部，其向浮起在距臺部規定的高度的基片滴注功能液的液滴；主掃描方向移動部，其保持浮起在距臺部規定的高度的基片并且使該基片在主掃描方向上移動；和副掃描方向移動部，其使液滴排出部相對于浮起在距臺部規定的高度的基片在副掃描方向上移動，在反復進行主掃描方向移動部使基片在主掃描方向上移動并且液滴排出部滴注液滴的處理期間，副掃描方向移動部使液滴排出部在副掃描方向上移動。

技術領域

本發明涉及涂敷裝置和涂敷方法。

背景技術

在現有技術中，已知作為利用有機EL(Electroluminescence)發光的發光二極管的有機發光二極管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。使用了有機發光二極管的有機EL顯示器，不僅具有薄型輕質并且低耗電量的優點，而且還具有在響應速度、視場角、對比度等方面優越等的優點。因此，近年來，作為新一代的平板顯示器(FPD)引人注目。

有機發光二極管包括：形成在基片上的陽極；以陽極為基準設置于基片的背面側的陰極；和設置在陽極與陰極之間的有機層。有機層例如從陽極側向陰極側去依次具有空穴注入層、空穴輸送層、發光層、電子輸送層、電子注入層。在發光層等的形成中，可以使用噴射方式的涂敷裝置。

專利文獻1中記載的涂敷裝置包括：對工件以噴射方式進行描繪的多個功能液滴噴頭；搭載工件的工件臺；和使工件臺在主掃描方向上移動的線性電機。工件臺具有吸附工件的吸附板和用于對設置于吸附板的工件的位置在θ軸方向進行θ修正的θ板等。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2004－177262號公報

發明內容

發明想要解決的技術問題

在現有技術中，保持基片的工件臺重，使基片移動的驅動力大，對基片的位置控制性有改善的余地。

本發明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供一種能夠提高基片的位置控制性的涂敷裝置。

用于解決技術問題的技術方案

為了解決上述課題，根據本發明的一個方面，提供一種涂敷裝置，其使基片的功能液的液滴的著液位置在主掃描方向和副掃描方向上移動，在上述基片上描繪上述功能液的描繪圖案，上述涂敷裝置的特征在于，包括：

利用氣體的風壓使上述基片浮起在規定的高度的臺部；

液滴排出部，其向浮起在距上述臺部規定的高度的上述基片滴注上述功能液的液滴；

主掃描方向移動部，其保持浮起在距上述臺部規定的高度的上述基片并且使上述基片在上述主掃描方向上移動；和

副掃描方向移動部，其使上述液滴排出部相對于浮起在距上述臺部規定的高度的上述基片在上述副掃描方向上移動，

反復進行上述主掃描方向移動部使上述基片在上述主掃描方向上移動并且上述液滴排出部滴注上述液滴的處理期間，上述副掃描方向移動部使上述液滴排出部在上述副掃描方向上移動。

發明效果

根據本發明的一個方面，提供一種能夠提高基片的位置控制性的涂敷裝置。

附圖說明

圖1是表示一個實施方式的有機EL顯示器的平面圖。

圖2是表示一個實施方式的有機EL顯示器的主要部分的截面圖。