[發明專利]一種光譜儀的中階梯光柵姿態調整方法和校準裝置

有效

• 申請號: 201810116151.1
• 申請日: 2018-02-06
• 公開（公告）號: CN108181238B
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 羅劍秋;曹海霞;何淼;趙英飛;夏鐘海
• 申請（專利權）人: 鋼研納克檢測技術股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/27
• 代理公司: 北京中安信知識產權代理事務所(普通合伙) 11248
• 代理人: 李彬;張小娟

1.一種光譜儀的中階梯光柵姿態調整方法，其特征在于：該方法包括如下步驟：

a、在對中階梯光柵進行精準裝調前，中階梯光柵光譜儀光學系統中的狹縫(11)、準直鏡(12)和棱鏡(13)均安裝在設計位置并調整到設計狀態；中階梯光柵(14)通過具有三維姿態可調功能的光柵固定機構安裝；

將中階梯光柵姿態調整校準裝置固定安裝在中階梯光柵光譜儀光學系統中的聚焦鏡(15)的位置上；所述中階梯光柵姿態調整校準裝置包括固定板和與該固定板呈固定夾角的校準面板，在所述校準面板上，沿其長度方向從上至下依次刻有多個十字叉絲，每個十字叉絲分別為一個根據光學系統精確計算所得的已知波長激光衍射級次的光斑的設計位置；

b、激光器光束通過狹縫(11)照射到準直鏡(12)上，經準直鏡(12)反射后透過棱鏡(13)，照射到中階梯光柵(14)表面，中階梯光柵(14)衍射出激光器對應波長的多個衍射級次的光斑照射在中階梯光柵姿態調整校準裝置的校準面板上，通過中階梯光柵固定機構調整中階梯光柵(14)的三維姿態，使各衍射級次的光斑與校準面板上相對應的十字叉絲的交點重合，此時，中階梯光柵(14)的姿態與設計的使用狀態一致；

所述步驟b包括粗調步驟和精調步驟；

粗調：通過中階梯光柵固定機構的俯仰調節柱(1)和傾斜調節柱(2)將中階梯光柵(14)衍射出的已知波長激光的最亮光斑調整到與其對應的衍射級次的十字叉絲的交點重合位置；觀察其它衍射級次的光斑是否精確地與所對應的十字叉絲的交點重合；如果各衍射級次的光斑不能精確地與所對應的十字叉絲的交點重合，說明中階梯光柵目前的使用狀態仍存在偏差，需要進行精調；

精調：通過中階梯光柵固定機構的滾轉調節柱(3)調整中階梯光柵的滾轉狀態，結合俯仰調節柱(1)和傾斜調節柱(2)的調節，直至將各衍射級次的光斑與校準面板上相對應的十字叉絲的交點重合，此時，中階梯光柵的姿態與設計的使用狀態一致。

2.根據權利要求1所述的光譜儀的中階梯光柵姿態調整方法，其特征在于：所述中階梯光柵光譜儀光學系統的光室底部平整光滑，保證中階梯光柵姿態調整的準確性。

3.一種應用于權利要求1所述的方法的中階梯光柵姿態調整校準裝置，其特征在于：所述裝置包括固定板和與該固定板呈固定夾角的校準面板，在所述校準面板上，沿其長度方向從上至下依次刻有多個十字叉絲，每個十字叉絲分別為一個根據光學系統精確計算所得的已知波長激光衍射級次的光斑的設計位置；

所述裝置固定安裝在中階梯光柵光譜儀光學系統中的聚焦鏡(15)的位置上。

4.根據權利要求3所述的中階梯光柵姿態調整校準裝置，其特征在于：所述固定板與校準面板之間的夾角為90±0.2°。