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[發明專利]一種基于球殼壓電換能器的超聲聚焦流體振動拋光方法在審

專利信息
申請號: 201810113333.3 申請日: 2018-02-05
公開(公告)號: CN108381304A 公開(公告)日: 2018-08-10
發明(設計)人: 張曉峰;楊強;曹中臣;林彬 申請(專利權)人: 天津大學
主分類號: B24B1/04 分類號: B24B1/04
代理公司: 天津市三利專利商標代理有限公司 12107 代理人: 韓新城
地址: 300072*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 壓電換能器 球殼 待加工工件 拋光液 超聲振動 聚焦流體 振動拋光 超聲 聚焦 敞口容器 超聲電源 垂直變換 待加工件 工件表面 加工路徑 超聲波 拋光 處理面 高頻電 加工點 加工件 移動 凹面 預設 指向 修正 停留 傳遞
【權利要求書】:

1.一種基于球殼壓電換能器的超聲聚焦流體振動拋光方法,其特征在于,采用以下步驟進行:

將待加工工件放在裝有拋光液的敞口容器中;

在待加工工件的上方放置通過移動可水平或垂直變換位置的球殼壓電換能器,且該球殼壓電換能器始終浸在所述拋光液中并且凹面指向待加工工件的待處理面;

啟動超聲電源產生高頻電激勵所述球殼壓電換能器產生超聲振動,根據預設的加工路徑以及各個加工點的超聲波聚焦的停留時間,移動所述球殼壓電換能器,通過拋光液的傳遞將超聲振動聚焦于待加工件上,對待加工件的表面進行拋光。

2.如權利要求1所述基于球殼壓電換能器的超聲聚焦流體振動拋光方法,其特征在于,所述拋光液中的拋光顆粒包括氧化鈰、氧化鋁、氧化硅或者是納米金剛石。

3.如權利要求1所述基于球殼壓電換能器的超聲聚焦流體振動拋光方法,其特征在于,所述球殼壓電換能器的底部與待加工工件間的距離范圍為10mm至0.5m之間。

4.如權利要求1所述基于球殼壓電換能器的超聲聚焦流體振動拋光方法,其特征在于,所述球殼壓電換能器發出的超聲波頻率范圍為200KHz到10MHz之間。

5.如權利要求1所述基于球殼壓電換能器的超聲聚焦流體振動拋光方法,其特征在于,所述球殼壓電換能器的球殼厚度為0.4mm到2.5mm。

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