[發(fā)明專利]一種圖案化薄膜的高溫退火方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810110906.7
• 申請(qǐng)日: 2018-02-05
• 公開（公告）號(hào): CN108346583B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 閆興振;王冠達(dá);周路;楊帆;遲耀丹;高曉紅;邊虹宇;史愷;李旭;楊小天
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林建筑大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/477
• 分類號(hào): H01L21/477
• 代理公司: 深圳卓正專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44388
• 代理人: 王平;萬正平

1.一種圖案化薄膜的高溫退火方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在基底上形成液態(tài)的圖案化薄膜液，所述圖案化薄膜液中包括成膜材料和溶劑，所述圖案化薄膜液包括多個(gè)微圖案；

S2、將圖案化薄膜液在預(yù)退火溫度下進(jìn)行預(yù)退火處理，得到薄膜前體；所述預(yù)退火溫度比所述溶劑的沸點(diǎn)低4-5℃；

S3、將薄膜前體在過渡退火溫度下進(jìn)行過渡退火處理，得到薄膜過渡體；所述過渡退火溫度比目標(biāo)退火溫度低100-150℃；

S4、將薄膜過渡體在目標(biāo)退火溫度下進(jìn)行退火處理，然后冷卻，得到薄膜；

其中，所述步驟S2中，以3-5℃/min的升溫速率將溫度升高至所述預(yù)退火溫度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫退火方法，其特征在于，所述步驟S1中，

所述微圖案的尺寸為1000微米以下。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫退火方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述溶劑選自乙二醇甲醚、環(huán)己酮、乙二醇、N,N-二甲基甲酰胺中的一種或多種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的高溫退火方法，其特征在于，所述溶劑為乙二醇甲醚；

所述步驟S2中，所述預(yù)退火溫度為119-121℃，預(yù)退火時(shí)間為40-60min。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫退火方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述成膜材料選自銦鋅氧、銦鎵鋅氧、銦錫氧、鎵鋅氧中的一種或多種。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高溫退火方法，其特征在于，所述步驟S3中，以3-5℃/min的升溫速率將溫度升高至所述過渡退火溫度。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的高溫退火方法，其特征在于，所述成膜材料選自銦鋅氧；

所述步驟S3中，所述過渡退火溫度為350-400℃，過渡退火時(shí)間為40-60min。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高溫退火方法，其特征在于，所述步驟S4中，以5-10℃/min的升溫速率將溫度升高至所述目標(biāo)退火溫度，所述目標(biāo)退火溫度為500-550℃，退火處理時(shí)間為60-80min。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-3、5、6、8中任意一項(xiàng)所述的高溫退火方法，其特征在于，所述預(yù)退火處理完成后直接將所述薄膜前體在過渡退火溫度下進(jìn)行過渡退火處理，所述過渡退火處理完成后直接將所述薄膜過渡體在目標(biāo)退火溫度下進(jìn)行退火處理；

所述預(yù)退火處理、過渡退火處理、退火處理均在空氣中進(jìn)行。