[發明專利]一種等離子發生器

有效

• 申請號: 201810108093.8
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN108322985B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發明（設計）人: 蔡衛
• 申請（專利權）人: 深圳市誠峰智造有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 深圳市博銳專利事務所 44275
• 代理人: 張明

本發明公開了一種等離子發生器，包括石英管、電極棒、第一主體和第二主體，所述電極棒容置于所述石英管內；所述石英管的側壁設有開口，且所述開口的長度等于石英管的長度；所述第一主體和第二主體沿石英管的徑向相對于石英管對稱分布；所述第一主體和第二主體上均設置有導流通道，所述導流通道的出口端靠近所述石英管的外壁設置，以使氣流能夠沿石英管的外壁流動。本發明設計開槽式的石英管，可防止在冷熱變化中石英管發生熱脹冷縮而引起的爆裂；本發明氣流的出口可沿整個石英管的長度方向排布，電離出的等離子束比較長，處理大面積工件時效率更高；石英管外壁的導流作用也使得整個裝置工作時的噪音更小。

技術領域

本發明涉及等離子技術領域，尤其涉及一種等離子發生器。

背景技術

目前，公知的低溫等離子發生裝置采用石英等作為介質材料，在未工作時，石英管為常溫狀態，在工作過程中，由于石英管接觸高溫氣流急劇升溫容易發生炸裂，導致等離子發生裝置損壞。而且在現有技術中，電離氣體也都是在石英管內部流動發生電離，等離子束的出口基本都是石英管的端口，導致等離子束的工作面較小，對于大面積工件來說，現有的這些等離子發生裝置的工作效率太低。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種等離子發生器，不僅能夠防止石英管損壞，而且具有較高的工作效率。

為了解決上述技術問題，本發明采用的技術方案為：

一種等離子發生器，包括石英管、電極棒、第一主體和第二主體，所述電極棒容置于所述石英管內；所述石英管的側壁設有開口，且所述開口的長度等于石英管的長度；所述第一主體和第二主體沿石英管的徑向相對于石英管對稱分布；所述第一主體和第二主體上均設置有導流通道，所述導流通道的出口端靠近所述石英管的外壁設置，以使氣流能夠沿石英管的外壁流動。

本發明的有益效果在于：本發明設計開槽式的石英管，可防止在冷熱變化中石英管發生熱脹冷縮而引起的爆裂；本發明將導流通道的出口端設置在石英管壁外，且在左右兩側對稱設置導流通道出口端，兩側氣流分別沿石英管外壁流動，最后在中間位置匯合形成一股氣流以供電離，氣流的出口可沿整個石英管的長度方向排布，電離出的等離子束比較長，處理大面積工件時效率更高；石英管外壁的導流作用也使得整個裝置工作時的噪音更小；本發明使氣流沿石英管的外壁流動，相較于現有技術是在石英管內部流動來說，本發明可不用考慮密封性的問題，結構更加簡單；此外，石英管的管壁也能夠對電離出的等離子體起到冷卻作用，提高等離子發生器的工作效率。

附圖說明

圖1為本發明型實施例的等離子處理器的整體結構示意圖；

圖2為本發明型實施例的等離子處理器的爆炸圖；

圖3為本發明型實施例的等離子處理器的俯視圖；

圖4為A-A剖視圖；

圖5為本發明實施例的電極棒的結構示意圖；

標號說明：

1、石英管；2、電極棒；21、冷卻通道；22、出口；23、入口；3、第一主體；31、支撐件；311、輸氣通孔；32、布氣底板；321、通氣槽；322、出氣孔；4、第二主體；5、密封墊；6、電極連接件；7、電極固定件；8、蓋板；9、電源輸入端子；10、總進氣管；11、支氣管。

具體實施方式

為詳細說明本發明的技術內容、所實現目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖予以說明。

本發明最關鍵的構思在于:在石英管的側壁上開設開口，且開口長度貫穿整個石英管；將第一主體和第二主體左右對稱設置于石英管兩側，第一主體和第二主體上分別設置導流通道，導流通道的出口端靠近所述石英管的外壁設置，以使氣流能夠沿石英管的外壁流動。