[發明專利]一種帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置

在審

• 申請號: 201810107758.3
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN108296931A
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 何祥;謝磊;黃穎;黃金勇;蔡超;胡慶;王剛;趙恒;鄢定堯;馬平
• 申請（專利權）人: 成都精密光學工程研究中心
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00;B24B41/00;B24B55/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;羅滿

1.一種帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，包括用于裝置元件的保持架(13)和環拋驅動機構，其特征在于，所述的保持架(13)對拋光盤面(15)進行壓力加載并使元件貼合在拋光盤面(15)上，并且所述的保持架(13)的外圍還設置有貼合在拋光盤面(15)上的拋光盤磨損補償塊(7)，環拋驅動機構帶動保持架(13)在拋光盤面(15)上進行自轉從而驅動元件自轉進行環拋加工，并且還設置有帶動保持架(13)沿著拋光盤面(15)進行偏擺運動的偏擺機構。

2.根據權利要求1所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的拋光盤磨損補償塊(7)沿著拋光盤面(15)的徑向設置，并且在拋光盤面(15)的徑向方向上拋光盤磨損補償塊(7)的寬度具有縮減段(71)，所述的縮減段(71)到拋光盤面(15)圓心的距離與保持架(13)到拋光盤面(15)圓心的距離一致。

3.根據權利要求1或2所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的環拋驅動機構包括底板(9)、旋轉電機(10)和旋轉減速器(11)，旋轉電機(10)和旋轉減速器(11)裝置在底板(9)上，保持架(13)通過連接架(12)與旋轉減速器(11)相連，旋轉電機(10)通過旋轉減速器(11)帶動連接架(12)、保持架(13)自轉。

4.根據權利要求3所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的拋光盤磨損補償塊(7)通過連接柱(8)與底板(9)連接。

5.根據權利要求4所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的底板(9)與偏擺機構連接由其帶動進行偏擺運動。

6.根據權利要求5所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的偏擺機構包括與底板(9)連接的并且平行于拋光盤面(15)的加載連桿(6)，所述的加載連桿(6)繞定軸旋轉進行偏擺運動從而帶動保持架(13)在自轉的同時進行偏擺運動。

7.根據權利要求6所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的偏擺機構還包括偏擺電機組件(1)，偏擺電機組件(1)的輸出軸連接著擺幅調節組件(2)，擺幅調節組件(2)連接著與加載連桿(6)傳動的擺動連桿(3)，偏擺電機組件(1)帶動擺幅調節組件(2)旋轉從而擺動連桿(3)驅動加載連桿(6)進行偏擺運動。

8.根據權利要求7所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的擺幅調節組件(2)包括與偏擺電機組件(1)的輸出軸連接的轉盤，轉盤上設置了到轉動軸心距離可調的滑塊，擺動連桿(3)與滑塊連接。

9.根據權利要求7所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的加載連桿(6)連接在加壓氣缸(14)的加壓氣缸軸(5)上，加壓氣缸軸(5)的伸縮方向垂直于拋光盤面(15)，擺動連桿(3)帶動加壓氣缸(14)沿著加壓氣缸軸(5)的周向進行旋轉擺動，從而使得加載連桿(6)進行偏擺運動。

10.根據權利要求9所述的帶磨損補償的偏擺式平面拋光裝置，其特征在于，所述的加壓氣缸(14)裝置在擺臂座(4)上，擺臂座(4)通過軸承安裝在固定座上，擺動連桿(3)與擺臂座(4)連接。