[發明專利]一種激光器中心波長測量的溫漂反饋方法及裝置

有效

• 申請號: 201810107583.6
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN108507686B
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 劉廣義;韓曉泉;沙鵬飛;丁金濱;李亞飛;周翊;趙江山;江銳
• 申請（專利權）人: 北京科益虹源光電技術有限公司
• 主分類號: G01J9/00
• 分類號: G01J9/00;G01M11/02
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種激光器中心波長測量的溫漂反饋裝置，其特征在于，包括第一勻光片、第一光闌、第一分束鏡、參考激光器、第二勻光片、第二光闌、準直透鏡、FP標準具、會聚鏡、第二分束鏡、第一反射鏡、第二反射鏡以及成像單元，待測激光器發出的待測激光部分進入所述第一勻光片，所述待測激光經過勻化后經過所述第一光闌后照射在所述第一分束鏡上，經過所述第一分束鏡反射的所述待測激光經過所述準直透鏡后進入所述FP標準具，所述FP標準具充有恒壓氣體，所述待測激光經過所述FP標準具內部多次反射后射出，由所述FP標準具射出的所述待測激光照射在所述會聚鏡上，經過會聚后的所述待測激光透過所述第二分束鏡，經過所述第一反射鏡和所述第二反射鏡的反射后進入所述成像單元得到第一干涉條紋成像；

由所述參考激光器發出的參考激光依次經過所述第二勻光片、所述第二光闌后照射在所述第一分束鏡，所述參考激光經過所述第一分束鏡透射后經由所述準直透鏡準直后進入所述FP標準具，所述參考激光經過所述FP標準具內部多次反射后射出照射在所述會聚鏡上，經過會聚后的所述參考激光透過所述第二分束鏡，經過所述第一反射鏡和所述第二反射鏡的反射后進入所述成像單元得到第二干涉條紋成像，利用所述第二干涉條紋成像作為基準對所述第一干涉條紋成像進行溫度漂移補償反饋。

2.根據權利要求1所述的激光器中心波長測量的溫漂反饋裝置，其特征在于，所述FP標準具包括進氣閥、出氣閥以及兩片平行設置的第一高反射鏡和第二高反射鏡。

3.根據權利要求1所述的激光器中心波長測量的溫漂反饋裝置，其特征在于，所述第一分束鏡和所述第二分束鏡采用二向色分束鏡。

4.根據權利要求1所述的激光器中心波長測量的溫漂反饋裝置，其特征在于，所述第一勻光片和所述第二勻光片采用毛玻璃、全系擴散片、積分棒或微透鏡陣列。

5.根據權利要求1所述的激光器中心波長測量的溫漂反饋裝置，其特征在于，還包括平板玻璃，所述待測激光器發出的待測激光通過所述平板玻璃照射所述第一勻光片。

6.根據權利要求5所述的激光器中心波長測量的溫漂反饋裝置，其特征在于，所述平板玻璃的材料采用氟化鈣或熔石英。

7.根據權利要求1所述的激光器中心波長測量的溫漂反饋裝置，其特征在于，所述成像單元采用CCD相機。

8.一種激光器中心波長測量的溫漂反饋的溫漂反饋方法，其特征在于，應用在如權利要求1至7中任一項所述的激光器中心波長測量的溫漂反饋裝置，所述方法包括：

獲取干涉條紋中的峰值位置以及偏轉角，所述偏轉角為峰值位置光線與會聚鏡中心線之間夾角，所述峰值位置r滿足第一關系為；

其中λ為待測激光器輸出波長，n為FP標準具內氣體的折射率，d為FP標準具的間距，m為干涉條紋的級次，f為會聚鏡的焦距；

獲取FP標準具的漂移量，所述漂移量滿足第二關系，所述第二關系為：

獲取參考激光器的中心波長λ_r，當Δn＝0根據所述第二關系，得到第三關系：

根據所述第三關系和所述參考激光器的干涉條紋位置得到第四關系，由所述第四關系確定所述待測激光器的中心波長，所述第四關系為：