[發明專利]曝光裝置

在審

• 申請號: 201810105095.1
• 申請日: 2018-02-02
• 公開（公告）號: CN108388084A
• 公開（公告）日: 2018-08-10
• 發明（設計）人: 長島壽一
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 高迪

1.一種曝光裝置，其特征在于，具備：

框架；

工作臺平臺，相對于所述框架升降自如，并且在與升降方向交叉的面內方向上擴展；

可動工作臺，搭載于所述工作臺平臺，并且在所述面內方向上移動自如；

曝光部，對載置于所述可動工作臺的曝光對象照射光來進行曝光；

移動機，使所述可動工作臺相對于所述工作臺平臺在所述面內方向上移動；

升降機，使搭載有所述可動工作臺的所述工作臺平臺相對于所述框架升降；以及

減振器，與所述框架和所述工作臺平臺這兩方相連，抑制所述工作臺平臺相對于所述框架的振動，

所述減振器具備：

容器，固定于所述框架與所述工作臺平臺中的一方，并在內部收容有粘性流體；以及

插入體，固定于相對于所述一方的另一方，所述插入體的一部分以不與所述容器的內壁接觸的狀態插入到所述粘性流體中。

2.如權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，

所述移動機具有多個移動部，該多個移動部分別對于包含在所述面內方向的彼此交叉的兩個方向成分相互獨立地使所述可動工作臺移動，

所述插入體插入到所述粘性流體的部分是沿所述兩個方向成分中的一方延伸的板部。

3.如權利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，

所述插入體的所述板部沿所述兩個方向成分中的一方以及所述升降方向這兩方延伸。

4.如權利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，

所述容器具有多個收容槽，該多個收容槽分別收容所述粘性流體，并沿所述兩個方向成分中的相對于所述一方的另一方排列，

所述插入體具有分別插入所述多個收容槽中的多個所述板部。

5.如權利要求1～4中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

所述插入體插入所述粘性流體中的部分是沿通過所述減振器而被抑制的所述工作臺平臺的振動的方向延伸的板部。

6.如權利要求1～4中任一項所述的曝光裝置，其特征在于，

所述粘性流體具有1000Pa·s以上的粘度。