[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性干膜、感光性樹脂涂層和圖案形成方法有效
| 申請號： | 201810104013.1 | 申請日： | 2018-02-02 |
| 公開（公告）號： | CN108388082B | 公開（公告）日： | 2023-01-13 |
| 發明（設計）人： | 丸山仁;近藤和紀;柳澤秀好 | 申請（專利權）人： | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/075 | 分類號： | G03F7/075 |
| 代理公司： | 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038 | 代理人： | 杜麗利 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 樹脂 組合 涂層 圖案 形成 方法 | ||
1.感光性樹脂組合物，其包括(A)包含具有式(1a)的重復單元和具有式(1b)的重復單元的有機硅改性的聚苯并噁唑樹脂和(B)在曝光至波長190至500nm的輻射時分解產生酸的光致產酸劑，
其中，R1至R4各自獨立地為C1-C8一價烴基，其可以包含縮水甘油基、丙烯酰基或甲基丙烯酰基基團，m和n各自獨立地為0至300的整數，R5為直鏈、支鏈或環狀的C1-C8亞烷基或亞苯基，a和b為以下范圍的正數：0a1、0b1和a+b＝1，和X1為具有下式(2)的二價連接基：
其中，X2為單鍵或二價有機基團，R11各自獨立地為氫或其中部分氫可以被鹵素取代的C1-C8一價烴基，R12各自獨立地為直鏈、支鏈或環狀的C1-C8亞烷基，其中任意亞甲基基團可以被醚鍵或亞苯基基團取代，R13各自獨立地為羥基或縮水甘油氧基，R14各自獨立地為其中部分氫可以被鹵素取代的C1-C8一價烴基，p和q各自獨立地為0至4的整數，以及r和s各自獨立地為0至3的整數。
2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中X2為選自以下基團的基團：
-S- -O--(CH2)k- -O-(CH2)k-O-
其中，R各自獨立地為鹵素或直鏈、支鏈或環狀的C1-C8烷基或鹵代烷基，k為1至6的整數，x為0至4的整數，y和z各自獨立地為0至4的整數。
3.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其進一步包括(C)交聯劑。
4.根據權利要求3所述的感光性樹脂組合物，其中所述交聯劑(C)為選自如下組成的組中的至少一種化合物：用甲醛或甲醛-醇改性的氨基縮合物，分子中具有平均至少兩個羥甲基或烷氧基羥甲基的酚化合物，和分子中具有平均至少兩個環氧基的環氧化合物。
5.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其進一步包括(E)堿性化合物。
6.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其為用于結合兩個基材的基材結合材料。
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