[發明專利]一種基于先驅體陶瓷的摩擦阻力傳感器及其制備方法

有效

• 申請號: 201810097851.0
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN108332890B
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 孟松鶴;李金平;易法軍;牛家宏;許承海;金華;方國東
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01L1/22
• 分類號: G01L1/22;C04B35/56;C04B35/58;C04B35/622
• 代理公司: 北京格允知識產權代理有限公司 11609
• 代理人: 李亞東;周嬌嬌

1.一種基于先驅體陶瓷的摩擦阻力傳感器的制備方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

(1)將碳源與含Si-H鍵的聚硅聚合物混合均勻并在65～80℃的條件下保溫10～20h，得到混合料；所述碳源選自由二乙烯基苯、乙烯基乙炔基苯和二乙炔基苯組成的組；所述混合是在真空條件下進行的；

(2)將步驟(1)得到的混合料進行固化，得到固化產物；所述固化包括初步固化和完全固化；初步固化是在空氣氣氛中進行的；完全固化是在惰性氣氛中進行的；所述初步固化為將步驟(1)得到的混合料在120～130℃的條件下保溫2～3h，得到初步固化產物；所述完全固化為將初步固化產物在350～450℃的條件下保溫2～6h，得到固化產物；

(3)將步驟(2)得到的固化產物依次進行粉碎、研磨和過篩，得到固化產物的粉末，然后將所述粉末進行模壓成型，得到懸臂梁先驅體；模壓成型的壓力為350～500MPa，保壓時間為5～8min；

(4)將步驟(3)得到的懸臂梁先驅體進行燒結，制得先驅體陶瓷懸臂梁；和

(5)在步驟(4)制得的先驅體陶瓷懸臂梁的一端連接測量頭，在步驟(4)制得的先驅體陶瓷懸臂梁除去先驅體陶瓷懸臂梁兩端之外的任一位置連接電極，制得基于先驅體陶瓷的摩擦阻力傳感器。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：

步驟(4)中的燒結是在惰性氣氛中進行的，所述惰性氣氛為氬氣氣氛或氮氣氣氛。

3.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于：

所述惰性氣氛為純度為99.9％的氬氣氣氛。

4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：

所述惰性氣氛為氬氣氣氛或氮氣氣氛。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于：

所述惰性氣氛為純度為99.9％的氬氣氣氛。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：

在將懸臂梁先驅體進行燒結之前，先將碳粉覆蓋在所述懸臂梁先驅體上再進行燒結。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：

步驟(1)中的混合是在65～80℃的油浴條件下進行；

步驟(3)中的過篩采用150目篩網；

步驟(4)中燒結的溫度為900～1200℃，燒結的時間為2～3h；和/或

步驟(5)中采用粘接劑進行連接；

所述粘接劑為金屬漿料或液態的含Si-H鍵的聚硅聚合物。