[發明專利]航空用螺栓表面耐磨防鎖死Ni-AgPd復合涂層的制備方法

有效

• 申請號: 201810097027.5
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN108103462B
• 公開（公告）日: 2019-11-12
• 發明（設計）人: 呼丹;高廣睿;王寶云;屈靜;李超眾;顏學柏;李爭顯
• 申請（專利權）人: 西安賽福斯材料防護有限責任公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/54;C23C28/02
• 代理公司: 西安創知專利事務所 61213
• 代理人: 譚文琰

1.一種航空用螺栓表面耐磨防鎖死Ni-AgPd復合涂層的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟一、螺栓拋光及清洗：采用振動拋光機對螺栓進行振動拋光，然后依次采用工業除油劑、無水乙醇和去離子水進行超聲清洗，每次清洗的時間均為5min～10min，超聲清洗過程中控制溫度為15℃～40℃；

步驟二、螺紋噴砂：對步驟一中超聲清洗后烘干的螺栓進行噴砂處理；

步驟三、螺栓表面濺射清洗：將螺栓放入多弧離子鍍膜設備的真空腔室，再將Ni靶和AgPd靶分別安裝在多弧離子鍍膜設備的陰極靶位，然后抽真空使真空腔室內的壓強至0.03Pa～0.1Pa，控制真空腔室內的溫度為150℃～250℃，螺栓加負偏壓為-400～-1000V，并啟動陰極Ni靶電弧轟擊螺栓的螺紋表面5min～10min，弧電流為50A～100A，除去螺紋表面的鈍化層；所述AgPd靶由質量百分含量為84％的Ag和質量百分含量為16％的Pd組成；

步驟四、沉積Ni過渡層：向所述真空腔室通入氬氣，調整工作氣壓為0.1Pa～0.5Pa，開啟Ni靶電弧轟擊步驟三中除去螺紋表面鈍化層的螺栓，控制真空腔室內的溫度為150℃～350℃，螺栓所加負偏壓為-80～-350V，弧電流為70A～95A，沉積時間為15min～50min，制備得到厚度為0.8μm～3μm的Ni過渡層；

步驟五、沉積AgPd涂層：調節螺栓基體上所加負偏壓至-100～-350V，通入氬氣使真空腔室的真空度為0.2Pa～0.8Pa，開啟AgPd靶電弧轟擊步驟四中鍍有Ni過渡層的螺栓，弧電流為70A～120A，控制真空腔室內溫度為150℃～350℃，電弧鍍膜的時間為20min～80min，得到厚度為0.5μm～2μm的AgPd涂層，最后在螺栓的螺紋表面得到Ni-AgPd復合涂層；所述AgPd涂層中Pd的質量百分含量為18％～23％。

2.根據權利要求1所述的航空用螺栓表面耐磨防鎖死Ni-AgPd復合涂層的制備方法，其特征在于，步驟一中振動拋光時向所述振動拋光機中加入拋光液和直徑為0.5mm～5mm的白剛玉滾珠；所述拋光液為氧化鋁拋光液或金剛石拋光液，所述振動拋光的時間為15min～30min。

3.根據權利要求2所述的航空用螺栓表面耐磨防鎖死Ni-AgPd復合涂層的制備方法，其特征在于，所述白剛玉滾珠與拋光液的質量比為10:1。

4.根據權利要求1所述的航空用螺栓表面耐磨防鎖死Ni-AgPd復合涂層的制備方法，其特征在于，步驟二中所述噴砂處理采用的噴砂槍，噴砂槍噴砂時的工藝條件為：沙粒采用直徑為200目～300目的石英砂，噴砂壓力為0.3MPa～0.8MPa，噴砂的時間50s～400s。

5.根據權利要求1所述的航空用螺栓表面耐磨防鎖死Ni-AgPd復合涂層的制備方法，其特征在于，步驟四和步驟五中所述氬氣的流量均為50mL/min～150mL/min。