[發明專利]基板搬運裝置、基板處理裝置以及基板搬運方法

有效

• 申請號: 201810094828.6
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN108428655B
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 桑原丈二
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;董雅會

本發明涉及一種基板搬運裝置、基板處理裝置以及基板搬運方法，部分位置計算部基于第一檢測器至第五檢測器的檢測信號，計算基板的第一部分至第五部分在手部上的位置。假想圓計算部根據第一部分至第四部分的位置分別計算4個假想圓，計算各假想圓的中心位置。基板位置判斷部計算多個中心位置之間的多個偏移量。在多個偏移量均為閾值以下的情況下，基板位置判斷部基于4個假想圓中的某假想圓或者全部假想圓，判斷基板在手部上的位置。在多個偏移量中的至少一個超過閾值的情況下，基板位置判斷部選擇4個假想圓中的經過第五部分的位置的假想圓，基于所選擇的假想圓，判斷基板在手部上的位置。基于判斷結果，控制基板的搬運動作。

技術領域

本發明涉及搬運基板的基板搬運裝置、具有該基板搬運裝置的基板處理裝置以及基板搬運方法。

背景技術

為了對半導體基板、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板、光掩模用基板等各種基板進行各種處理，利用基板處理裝置。

在這樣的基板處理裝置中，通常，在多個處理單元中對一張基板連續地進行處理。因此，在基板處理裝置設置有用于在多個處理單元之間搬運基板的搬運機構(基板搬運裝置)。

例如，日本特開2014-22589號公報所記載的基板處理裝置的搬運機構，具有用于保持基板的手部。另外，在搬運機構設置有多個檢測器。多個檢測器分別檢測手部所保持的基板的外周部的多個部分，由此檢測基板在手部上的位置。在各處理單元，存儲有用于表示利用手部進行的基板的接收位置和基板的載置位置的坐標信息。在手部預先設定有基準位置。若在一個處理單元中基板從規定位置偏移，則搬運機構的手部以基板的中心從手部的基準位置偏移的狀態接收該基板。此時，在向其它處理單元載置基板之前，基于多個檢測器的檢測結果，檢測基板相對于手部的基準位置的偏移。基于檢測到的偏移修正坐標信息，以使在其它處理單元由手部載置的基板的中心位置與其它處理單元中的規定位置之間的偏移消除。基于修正后的坐標信息，控制搬運機構。由此，將基板載置于其它處理單元的規定位置。

發明內容

為了使基板的處理進一步高精度化，希望將基板準確地搬運至多個處理單元的規定位置。此時，需要以更高的精度檢測基板相對于手部的基準位置的偏移。

但是，在基板的外周部形成有定位用的切槽。因此，在上述的基板處理裝置中，當多個檢測器中的一個檢測器檢測到切槽時，由于切槽的檢測結果，使手部上的基板的位置檢測精度降低。因此，無法以高精度檢測基板的偏移。

本發明的目的在于，提供一種能夠提高基板的搬運精度的基板搬運裝置、具有該基板搬運裝置的基板處理裝置以及基板搬運方法。

(1)本發明的一個技術方案的基板搬運裝置，用于搬運基板，具有：可動部；第一驅動部，使可動部移動；保持部，保持基板；第二驅動部，使保持部相對于可動部移動；第一檢測器、第二檢測器、第三檢測器、第四檢測器以及第五檢測器，分別檢測由保持部保持的基板的外周部的彼此不同的第一部分、第二部分、第三部分、第四部分以及第五部分；以及搬運控制部，在搬運基板時，控制第一驅動部和第二驅動部，搬運控制部包括：部分位置計算部，基于第一檢測器、第二檢測器、第三檢測器、第四檢測器以及第五檢測器的輸出信號，分別計算第一部分、第二部分、第三部分、第四部分以及第五部分在保持部上的位置；假想圓計算部，分別計算在由部分位置計算部計算出的第一部分的位置、第二部分的位置、第三部分的位置以及第四部分的位置中的彼此不同的3個部分的位置經過的4個假想圓；位置判斷部，基于假想圓計算部所計算出的4個假想圓與部分位置計算部所計算出的第五部分的位置，判斷保持部上的基板的位置；以及移動控制部，基于位置判斷部所判斷出的基板的位置，控制第一驅動部和第二驅動部。

在該基板搬運裝置中，基于第一檢測器至第五檢測器的輸出信號，分別計算保持部上的基板的第一部分至第五部分的位置。分別計算在第一部分至第四部分的位置中的彼此不同的3個部分的位置經過的4個假想圓。