[發明專利]高/低溫-電磁場復合條件加載的納米壓痕測試儀器

有效

• 申請號: 201810093613.2
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN108072581B
• 公開（公告）日: 2023-09-15
• 發明（設計）人: 呼詠;王軍炎;張建海;趙宏偉;王順博;謝英杰;郭錦洲;王趙鑫
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: G01N3/54
• 分類號: G01N3/54;G01N3/02
• 代理公司: 吉林長春新紀元專利代理有限責任公司 22100
• 代理人: 王怡敏

1.?一種高/低溫-電磁場復合條件加載的納米壓痕測試儀器，其特征在于：包括縱向精密納米壓痕驅動加載模塊（1）、橫向磁加載模塊（2）、低溫縱向磁場模塊（3）、高溫電場模塊（4）和隔震臺（5），所述縱向精密納米壓痕驅動加載模塊（1）、橫向磁加載模塊（2）、低溫縱向磁場模塊（3）和高溫電場模塊（4）安裝在隔震臺（5）上；所述縱向精密納米壓痕驅動加載模塊（1）通過輔助連接架（113）及緊定螺釘與橫向磁加載模塊（2）連接，以保證在縱向宏觀運動上，橫向磁加載模塊（2）產生的磁感線中心與金剛石導電壓頭（115）的壓尖在一條直線上，并通過立板（104）與隔振臺（5）連接，從而固定在隔震臺（5）上；所述低溫縱向磁場模塊（3）通過滑塊承接板Ⅱ（306）與隔震臺（5）上的橫向滑軌連接，以保證低溫縱向磁場模塊（3）沿著橫向滑軌橫向移動；所述高溫電場模塊（4）通過滑塊承接板?（407）與橫向滑軌固連，以保證高溫電場模塊（4）沿著橫向滑軌橫向移動。

2.根據權利要求1所述的高/低溫-電磁場復合條件加載的納米壓痕測試儀器，其特征在于：所述的縱向精密納米壓痕驅動加載模塊（1）是：伺服電機（101）通過電機承接座Ⅰ（102）固定在絲杠底板Ⅰ（103）上，通過聯軸器Ⅰ（105）將轉動運動同步傳遞給滾珠絲杠Ⅰ（109），滾珠絲杠Ⅰ（109）通過絲杠支撐座Ⅰ（106）連接于絲杠底板Ⅰ（103）上；縱向滑軌（108）固連在滑軌底座Ⅰ（107）上，滑軌底座Ⅰ（107）與絲杠底板Ⅰ（103）固連，滑塊承接板Ⅰ（110）將滾珠絲杠Ⅰ（109）的轉動轉化成沿縱向的移動，通過螺釘與載物塊（111）相連，載物塊（111）平面與縱向精密驅動模塊（112）固連，并在其側面與輔助連接架（113）固連；力傳感器（117）上端面與縱向精密驅動模塊（112）固連，下端面與測量板位移傳感器（118）面連接，與驅動壓桿（114）軸端固連；驅動壓桿（114）與金剛石導電壓頭（115）螺紋連接，驅動壓桿與壓頭施電模塊（116）固連；精密手動交叉滾珠移動平臺（119）與載物臺（111）固連。

3.根據權利要求1所述的高/低溫-電磁場復合條件加載的納米壓痕測試儀器，其特征在于：所述的橫向磁加載模塊（2）包括橫向磁發生裝置（201）和霍爾探頭底座霍爾探頭底座（202）；所述橫向磁發生裝置（201）與霍爾探頭底座（202）固連。

4.根據權利要求1所述的高/低溫-電磁場復合條件加載的納米壓痕測試儀器，其特征在于：所述的低溫縱向磁場模塊（3）是：低溫恒溫器（301）與低溫壓臺（302）固連，低溫壓臺（302）通過螺栓連接到底板Ⅰ（305）上，底板Ⅰ（305）與滑塊承接板Ⅱ（306）固連，滑塊承接板Ⅱ（306）與隔震臺上的橫向滑軌固連，沿著橫向滑軌做橫向移動；產磁線圈（303）包裹著鐵芯（304），通過鐵芯（304）固定于底板Ⅰ（306）上，與外供電源連接產生縱方向的磁場。

5.根據權利要求1所述的高/低溫-電磁場復合條件加載的納米壓痕測試儀器，其特征在于：所述的高溫電場模塊（4）是：支撐銅座（401）固定于承接底座Ⅱ（402）上，發熱電阻（403）放置在承接底座Ⅱ（402）內腔中，發熱電阻（403）上表面與支撐銅座（401）接觸；絕熱擋板（404）與承接底座Ⅱ（402）螺釘連接，且絕熱擋板（404）設有與通電導線（405）配合的連接孔；承接底座Ⅱ（402）固定于底板Ⅱ（406），底板Ⅱ（406）與滑塊承接板（407）固連，滑塊承接板（407）與隔震臺（5）上橫向運動的滑軌連接，使高溫電場模塊橫向運動。