[發明專利]透明材料內部集成三維導電金屬微納結構的方法

在審

• 申請號: 201810093296.4
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN108394856A
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發明（設計）人: 程亞;徐劍;敬承斌;鐘熠;李曉龍
• 申請（專利權）人: 華東師范大學
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 上海藍迪專利商標事務所(普通合伙) 31215
• 代理人: 徐筱梅;張翔

1.一種透明材料內部集成三維導電金屬微納結構的方法，其特征在于，該方法包括下列步驟：

步驟1：飛秒激光輻照

將透明材料樣品固定在一臺三維可計算機編程位移平臺上，通過顯微物鏡將飛秒激光聚焦在所述的透明材料樣品上，按計算機編程驅動位移平臺運動同時啟動飛秒激光輻照過程，在所述的透明材料樣品中直寫出所需要的三維微通道圖案；

步驟2：化學腐蝕

將飛秒激光輻照后的透明材料樣品放入化學腐蝕溶液中，對所述的三維微通道圖案進行化學腐蝕，進而在透明材料樣品內部獲得具有三維幾何構型的微通道結構；

步驟3：連續流動化學鍍

采用蠕動泵先將化學鍍敏化活化液以1-100 ml/min的流速連續輸送通過上述微通道結構對通道內表面進行敏化活化，然后再將化學鍍液以1-100 ml/min的流速連續輸送通過上述微通道內部以實現金屬微納薄膜的快速沉積，進而實現在透明材料內部集成三維導電金屬微納結構。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述的透明材料樣品為玻璃、晶體或透明聚合物。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述化學腐蝕溶液為2%-20%的HF水溶液或5-20 mol/L、溫度為80-90℃ 的KOH水溶液。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述化學鍍敏化活化液為SnCl₂-HCl混合溶液或SnCl₂-PdCl₂-HCl混合溶液；其中，所述SnCl₂-HCl混合溶液為0.05-30 g/L 的SnCl₂溶液和0.5-300 ml/L的HCl溶液混合，體積比為1：1；所述SnCl₂-PdCl₂-HCl混合溶液為0.05-30g/L 的SnCl₂溶液、0.05-3 g/L 的PdCl₂溶液和0.5-300 ml/L的 HCl溶液混合，體積比為1：1：1。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述的三維導電金屬微納結構為三維銀、銅、金、鉑或鎳微納結構。