[發(fā)明專(zhuān)利]一種納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)和測(cè)量?jī)x器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810092387.6
• 申請(qǐng)日: 2018-01-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108240437B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 池欣睿;張潔
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 池欣睿
• 主分類(lèi)號(hào): F16H25/20
• 分類(lèi)號(hào): F16H25/20;F16H57/12
• 代理公司: 11371 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 趙志遠(yuǎn)

1.一種納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括螺桿和柔性金屬框架，所述柔性金屬框架包括第一端塊、第二端塊和兩個(gè)柔性片，每個(gè)柔性片的兩端分別與所述第一端塊和所述第二端塊連接，兩個(gè)所述柔性片間隔設(shè)置，且兩個(gè)所述柔性片分別與所述螺桿螺接，轉(zhuǎn)動(dòng)所述螺桿令兩個(gè)所述柔性片相互遠(yuǎn)離或者靠近；

所述柔性片包括第一片和第二片，所述第一片與所述第一端塊連接，所述第二片與所述第二端塊連接，所述第一片遠(yuǎn)離所述第一端塊的一端與所述第二片連接，所述第一片與所述第二片的連接處設(shè)置有螺紋孔，所述螺桿螺接于所述螺紋孔，所述第一片和所述第二片傾斜設(shè)置，兩個(gè)所述第一片的距離沿所述第一端塊朝向所述第二端塊的方向逐漸變大，兩個(gè)所述第二片的距離沿所述第二端塊朝向所述第一端塊的方向逐漸變大。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述螺桿包括第一桿和第二桿，所述第一桿和所述第二桿同軸設(shè)置，所述第一桿和所述第二桿上分別設(shè)置有螺紋，所述第一桿上的螺紋旋向與所述第二桿上的螺紋旋向相同，且所述第一桿上的螺紋的螺距與所述第二桿上的螺紋的螺距不同，所述第一桿和所述第二桿分別與兩個(gè)所述柔性片螺接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一桿的直徑大于所述第二桿的直徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一片的寬度沿所述第一端塊朝向所述第二端塊的方向逐漸減小，所述第二片的寬度沿所述第二端塊朝向所述第一端塊的方向逐漸減小。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一片與所述第一端塊的連接處設(shè)置有倒角，所述第二片與所述第二端塊的連接處設(shè)置有倒角。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一片與所述第二片的連接處設(shè)置有剛性螺塊，所述剛性螺塊呈柱形，所述第一片和所述第二片沿所述剛性螺塊的軸心線(xiàn)對(duì)稱(chēng)設(shè)置，所述螺紋孔設(shè)置于所述剛性螺塊，所述螺紋孔與所述剛性螺塊同軸設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述柔性金屬框架采用一體成型技術(shù)制成。

8.一種測(cè)量?jī)x器，其特征在于，包括底座、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、固定測(cè)桿、固定測(cè)片、活動(dòng)測(cè)片和如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述固定測(cè)桿和所述納米級(jí)微動(dòng)機(jī)構(gòu)分別安裝于所述底座，所述第二端塊與所述底座固定連接，所述第一端塊朝向所述固定測(cè)桿設(shè)置，所述固定測(cè)桿的一端安裝于所述底座，所述固定測(cè)桿的另一端朝向所述第一端塊設(shè)置，所述固定測(cè)桿與所述第一端塊之間形成測(cè)微間隙；所述固定測(cè)片和所述活動(dòng)測(cè)片均位于所述測(cè)微間隙內(nèi)，所述固定測(cè)片安裝于所述固定測(cè)桿，所述活動(dòng)測(cè)片安裝于所述第一端塊，所述固定測(cè)片與所述活動(dòng)測(cè)片間隔設(shè)置，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接所述螺桿。