[發明專利]一種靜電吸盤除靜電時的氦氣壓力控制系統及方法

有效

• 申請號: 201810092190.2
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN108376659B
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 袁鵬華
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種靜電吸附盤除靜電時的氦氣壓力控制系統，其特征在于，包括：

反應腔體，為一圓柱形結構；

靜電吸盤，設置于所述反應腔體底部；

第一氣體管路，連接所述靜電吸盤；

第二氣體管路，連接所述靜電吸盤；

第一壓力控制單元，通過一第一閥組連接所述第一氣體管路，所述第一壓力控制單元包括第一背面冷卻氣體壓力控制器和第一壓力控制器，所述第一壓力控制器用于控制所述第一氣體管路內的壓力值大于所述反應腔體中的壓力值；

第二壓力控制單元，通過一第二閥組連接所述第二氣體管路，所述第二壓力控制單元包括第二背面冷卻氣體壓力控制器和第二壓力控制器，所述第二壓力控制器用于控制所述第二氣體管路內的壓力值大于所述反應腔體中的壓力值；

冷卻氣體源，分別連接所述第一壓力控制單元和所述第二壓力控制單元；

分子泵，通過一第三閥組連接所述第一氣體管路，以及通過一第四閥組連接所述第二氣體管路。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述分子泵還連接一干泵，所述干泵通過所述第三閥組連接所述第一氣體管路，以及通過所述第四閥組連接所述第二氣體管路。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一閥組包括第一閥門和第二閥門，所述第一閥門連接所述第一背面冷卻氣體壓力控制器，所述第二閥門連接所述第一壓力控制器。

4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第二閥組包括第三閥門和第四閥門，所述第三閥門連接所述第二背面冷卻氣體壓力控制器，所述第四閥門連接所述第二壓力控制器。

5.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述第三閥組包括第五閥門和第六閥門，所述第五閥門連接所述分子泵，所述第六閥門連接所述干泵。

6.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述第四閥組包括第七閥門和第八閥門，所述第七閥門連接所述分子泵，所述第八閥門連接所述干泵。

7.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一壓力控制器的壓力工作范圍為1托以下。

8.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第二壓力控制器的壓力工作范圍為1托以下。

9.一種靜電吸附盤除靜電時氦氣壓力控制方法，其特征在于，采用如權利要求1～8中任一所述的壓力控制系統，包括以下步驟：

步驟S1、通過所述第一閥組控制所述第一背面冷卻氣體壓力控制器與所述第一氣體管路斷開連接，以及控制所述第一壓力控制器連接所述第一氣體管路；

步驟S2、通過所述第二閥組控制所述第二背面冷卻氣體壓力控制器與所述第二氣體管路斷開連接，以及控制所述第二壓力控制器連接所述第二氣體管路；

步驟S3、通過所述第三閥組和所述第四閥組控制所述分子泵對所述第一氣體管路和所述第二氣體管路進行抽氣；

步驟S4，通過所述第一壓力控制器使所述第一氣體管路內的壓力值大于所述反應腔體中的壓力值；

步驟S5，通過所述第二壓力控制器使所述第二氣體管路內的壓力值大于所述反應腔體中的壓力值。