[發(fā)明專利]一種大口徑寬光譜F-P可調(diào)諧濾波器的高精密裝配系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810090458.9
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN108388023B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 叢蕊;劉定權(quán);蔡清元;陳剛;周晟;蔣林
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類號: G02B27/62
• 分類號: G02B27/62;G01J3/26
• 代理公司: 上海滬慧律師事務(wù)所 31311
• 代理人: 李秀蘭

1.一種大口徑寬光譜F-P可調(diào)諧濾波器的高精密裝配系統(tǒng)，包括定鏡安裝模塊(1)；動鏡安裝模塊(2)；三維微位移平臺(3)；壓電慣性驅(qū)動器(6)；二維電動位移臺(7)；其特征在于：

所述的定鏡安裝模塊(1)的光學(xué)調(diào)整架在俯仰和偏擺方向提供±4°的角度調(diào)整，在垂直于鏡架光軸的平面內(nèi)360°可旋轉(zhuǎn)，并具有2°的旋轉(zhuǎn)分度；

所述的動鏡安裝模塊(2)的光學(xué)調(diào)整架具備3個1/4英寸-80調(diào)節(jié)螺絲，俯仰和偏擺方向提供±4°的角度調(diào)整，能夠與壓電慣性驅(qū)動器(6)兼容；

所述的三維微位移平臺(3)含有三組位移調(diào)節(jié)器，每組位移調(diào)節(jié)器均由粗調(diào)節(jié)器(4)和微調(diào)節(jié)器(5)組成，粗調(diào)節(jié)器(4)具備4mm的行程，每轉(zhuǎn)的粗調(diào)范圍為500μm，微調(diào)節(jié)器(5)具備300μm的行程，每轉(zhuǎn)的微調(diào)范圍是50μm；

所述的壓電慣性驅(qū)動器(6)帶有1/4英寸-80安裝螺紋，與動鏡安裝模塊(2)中的光學(xué)調(diào)整架兼容，具備10mm量級行程，在閉環(huán)控制下步長達(dá)到20nm；

所述的二維電動位移臺(7)在豎直方向和水平方向的行程均不小于1英寸，位移分辨率小于1μm，重復(fù)定位精度小于5μm；

所述的壓電慣性驅(qū)動器(6)安裝在動鏡安裝模塊(2)中的光學(xué)調(diào)整架的3個1/4英寸-80調(diào)節(jié)螺絲的安裝孔處；

所述的定鏡安裝模塊(1)安裝在二維電動位移臺(7)上，三維微位移平臺(3)安裝在二維電動位移臺(7)上，動鏡安裝模塊(2)安裝在三維微位移平臺(3)上；

所述的定鏡安裝模塊(1)與動鏡安裝模塊(2)的光軸處于同一高度，且彼此相對平行放置。