[發(fā)明專利]一種反射鏡調(diào)節(jié)與固定裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810089442.6
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN108227110A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設計）人: 閆志欣;舒嶸;黃庚華;賈建軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: G02B7/182
• 分類號: G02B7/182
• 代理公司: 上海滬慧律師事務所 31311
• 代理人: 李秀蘭

1.一種反射鏡的調(diào)節(jié)與固定裝置，包括調(diào)節(jié)機構(gòu)支架(1)、反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置(2)、反射鏡安裝座(3)以及反射鏡自適應固定裝置(4)，其特征在于：

所述的調(diào)節(jié)機構(gòu)支架(1)固定在反射鏡支撐框架(5)內(nèi)環(huán)端面，反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置(2)安裝于調(diào)節(jié)機構(gòu)支架(1)內(nèi)孔中；所述的反射鏡安裝座(3)一端安裝反射鏡(6)，另一端安裝在反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置(2)下端面；所述的反射鏡自適應固定裝置(4)的一端與反射鏡支撐框架(5)內(nèi)環(huán)端面接觸，另一端與反射鏡安裝座(3)的底面的內(nèi)球面接觸；

所述的調(diào)節(jié)與固定裝置在進行反射鏡(6)位置調(diào)節(jié)時，通過旋轉(zhuǎn)反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置(2)中的調(diào)焦螺母實現(xiàn)反射鏡沿Z向的連續(xù)移動；通過使反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置(2)中的內(nèi)、外凸輪相對轉(zhuǎn)動實現(xiàn)反射鏡(6)沿X向和Y向的連續(xù)移動；通過反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置(2)中的內(nèi)、外球面實現(xiàn)反射鏡(6)繞X向和Y向的連續(xù)轉(zhuǎn)動。反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置(2)可以實現(xiàn)反射鏡(6)的位置和角度在五個自由度的獨立、連續(xù)調(diào)節(jié)；所述的調(diào)節(jié)與固定裝置在反射鏡(6)完成調(diào)節(jié)后，通過反射鏡自適應固定裝置(4)中的傾斜調(diào)整墊片和球面自適應墊片將反射鏡可靠固定，固定后將調(diào)節(jié)裝置拆除。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射鏡的調(diào)節(jié)與固定裝置，其特征在于，所述的反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置(2)包括調(diào)焦螺母(2-1)；傾斜調(diào)節(jié)座(2-2)、調(diào)焦螺紋筒(2-3)、預壓螺母(2-4)、內(nèi)球面調(diào)諧墊片(2-5)、外球面調(diào)諧墊片(2-6)、內(nèi)凸輪(2-7)、外凸輪(2-8)、調(diào)節(jié)手柄(2-9)、預緊彈簧(2-10)；

所述的調(diào)焦螺母(2-1)下端面與調(diào)節(jié)機構(gòu)支架(1)上表面相接觸，調(diào)焦螺紋筒(2-3)通過螺紋配合與調(diào)焦螺母(2-1)連接，傾斜調(diào)節(jié)座(2-2)與調(diào)焦螺紋筒(2-3)球面配合，并通過內(nèi)球面調(diào)諧墊片(2-5)、外球面調(diào)諧墊片(2-6)和預壓螺母(2-4)緊固；內(nèi)凸輪(2-7)和外凸輪(2-8)放置在調(diào)節(jié)機構(gòu)支架(1)頂部中心孔內(nèi)，通過旋入其中的調(diào)節(jié)手柄(2-9)實現(xiàn)相對轉(zhuǎn)動；預緊彈簧(2-10)安裝在調(diào)焦螺紋筒(2-3)和調(diào)節(jié)機構(gòu)支架(1)相對面中間，用于實現(xiàn)螺紋傳動的軸向預緊；

所述的反射鏡五維調(diào)節(jié)裝置在對反射鏡(6)進行位置調(diào)節(jié)時，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)焦螺母(2-1)使調(diào)焦螺紋筒(2-3)帶動反射鏡(6)沿Z向的連續(xù)移動，為了消除螺紋傳動的間隙，通過預緊彈簧(2-10)實現(xiàn)螺紋傳動副的預緊；反射鏡(6)進行徑向位置調(diào)節(jié)時，將調(diào)節(jié)手柄(2-9)前端螺紋段旋入內(nèi)凸輪(2-7)和外凸輪(2-8)，通過交替轉(zhuǎn)動內(nèi)凸輪(2-7)和外凸輪(2-8)，使其相對轉(zhuǎn)動，以此實現(xiàn)反射鏡(6)沿X向和Y向的連續(xù)移動；在對反射鏡(6)的兩維傾斜角度進行調(diào)節(jié)是，將M3球頭螺釘旋入調(diào)節(jié)機構(gòu)支架1的對應螺紋孔中，推動傾斜調(diào)節(jié)座(2-2)，通過內(nèi)、外球面實現(xiàn)反射鏡(6)繞X向和Y向的連續(xù)轉(zhuǎn)動。為實現(xiàn)在球面副相對轉(zhuǎn)動過程中，始終保持可靠接觸，通過內(nèi)球面調(diào)諧墊片(2-5)和外球面調(diào)諧墊片(2-6)調(diào)節(jié)預壓力角度與反射鏡(6)調(diào)節(jié)角度相適應，通過預壓螺母(2-4)實現(xiàn)球面副的彈性定壓預緊。調(diào)節(jié)完成后鎖定預壓螺母(2-4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射鏡的調(diào)節(jié)與固定裝置，其特征在于，所述的反射鏡自適應固定裝置(4)包括內(nèi)球面墊片(4-1)、外球面墊片(4-2)、球面自適應墊片(4-3)、傾斜調(diào)整墊片(4-4)；

所述的球面自適應墊片(4-3)通過頂端外球面與反射鏡安裝座(3)底面外球面相接觸，傾斜調(diào)整墊片(4-4)放置在球面自適應墊片(4-3)下方；內(nèi)球面墊片(4-1)和外球面墊片(4-2)球面配合接觸，依次放置在反射鏡安裝座(3)安裝凸耳的沉孔內(nèi)；

所述的反射鏡自適應固定裝置在反射鏡(6)位置調(diào)節(jié)完成后，將三個球面自適應墊片(4-3)放置在反射鏡安裝座(3)內(nèi)球面固定點下方，通過測量確定三個傾斜調(diào)整墊片(4-4)的厚度，將三個傾斜調(diào)整墊片(4-4)依次放在對應的球面自適應墊片(4-3)下方，通過M4的螺釘將反射鏡安裝座(3)緊固在反射鏡支撐框架(5)上。內(nèi)球面墊片(4-1)和外球面墊片(4-2)墊在M4螺釘頭下方，用于調(diào)諧螺釘下壓面與螺紋孔垂直。