[發明專利]聚合性組合物、固化膜的制造方法和固化膜

在審

• 申請號: 201810085762.4
• 申請日: 2018-01-29
• 公開（公告）號: CN108375878A
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 染谷和也;野田國宏;引田二郎;鹽田大
• 申請（專利權）人: 東京應化工業株式會社
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍;焦成美

1.聚合性組合物，其是包含含聚合性基團的成分的聚合性組合物，

所述聚合性組合物包含含硅樹脂(A)、聚合引發劑(C)和填料(D)，

所述含硅樹脂(A)包含選自由倍半硅氧烷樹脂(A1)、聚硅烷-聚硅氧烷樹脂(A-I)、樹脂混合物(A-II)和含聚硅烷結構的樹脂(A-III)組成的組中的至少1種，

所述倍半硅氧烷樹脂(A1)為具有下述式(a1a)表示的結構單元的倍半硅氧烷樹脂，

[化學式1]

式(a1a)中，R^a1為下述式(a1a-I)表示的基團，

-X^a-B^a-Y^a-COOH……(a1a-I)

X^a為單鍵、碳原子數1～6的亞烷基、碳原子數6～12的亞芳基、或-R^a6-NH-R^a7-表示的基團，

R^a6和R^a7各自獨立地為碳原子數1～3的亞烷基，

Y^a為2價的環式有機基團或碳原子數1～20的鏈狀脂肪族烴基，

B^a為-NH-CO-、-CO-NH-、-NH-CO-O-、-O-CO-NH-、或-NH-CO-NH-，

X^a和Y^a各自獨立地可以被選自由(甲基)丙烯酰基氧基、乙烯基和含環氧基的有機基團組成的組中的1種以上的基團取代，

所述聚硅烷-聚硅氧烷樹脂(A-I)為具有聚硅烷結構(I-1)和聚硅氧烷結構(I-2)的聚硅烷-聚硅氧烷樹脂，

所述樹脂混合物(A-II)為具有聚硅烷結構(II-1)的樹脂與具有聚硅氧烷結構(II-2)的樹脂的混合物，

所述含聚硅烷結構的樹脂(A-III)為所述具有聚硅烷結構(II-1)的樹脂，

所述含聚合性基團的成分包含下述(1)～(5)中的至少1種，

(1)具有上述式(a1a)表示的結構單元、且上述式(a1a-I)中的X^a和Y^a中的至少一方被選自由(甲基)丙烯酰基氧基、乙烯基和含環氧基的有機基團組成的組中的1種以上的基團取代的倍半硅氧烷樹脂(A1-1)，

(2)具有上述式(a1a)表示的結構單元和下述式(a2a)表示的結構單元的倍半硅氧烷樹脂(A1-2)，

[化學式2]

式(a2a)中，R^a2為下述式(a1a-II)表示的基團，

-Z^a-A^a……(a1a-II)

Z^a為單鍵、碳原子數1～6的亞烷基、或碳原子數6～12的亞芳基，A^a為(甲基)丙烯酰基氧基、乙烯基、或含環氧基的有機基團，

(3)具有上述式(a2a)表示的結構單元、并且不屬于所述倍半硅氧烷樹脂(A1)的倍半硅氧烷樹脂(A2)，

(4)多官能聚合性單體(B)，以及

(5)具有選自由(甲基)丙烯酰基氧基、乙烯基和含環氧基的有機基團組成的組中的1種以上的基團、并且不屬于所述倍半硅氧烷樹脂(A1)、所述倍半硅氧烷樹脂(A2)或所述多官能聚合性單體(B)中的任一種的含聚合性基團的樹脂；

所述填料(D)包含選自由無機填料(D1)和堿性填料(D2)組成的組中的1種以上，

所述無機填料(D1)為選自由下述物質組成的組中的1種以上：選自由La、Ce、Nd、Gd、Ho、Lu、Hf和Ta組成的組中的至少1種元素的單質、所述元素的氧化物、所述元素的螯合物、所述元素的鹽、以及所述元素的合金，

所述堿性填料(D2)為選自堿性填料和堿性聚合物中的一種以上。

2.如權利要求1所述的聚合性組合物，其中，所述多官能聚合性單體(B)為5官能以上的多官能單體。

3.固化膜的制造方法，所述方法包括下述步驟：

使用權利要求1或2所述的聚合性組合物在基材上形成涂布膜的步驟，

位置選擇性地將所述涂布膜曝光的步驟，和

將經曝光的所述涂布膜顯影的步驟。