[發明專利]一種基于微機電系統的廣域激光雷達系統在審
| 申請號： | 201810084918.7 | 申請日： | 2018-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN108710138A | 公開（公告）日： | 2018-10-26 |
| 發明（設計）人： | 郭曉波;張薏 | 申請（專利權）人： | 上海思致汽車工程技術有限公司 |
| 主分類號： | G01S17/93 | 分類號： | G01S17/93;G01S17/06;G01S7/481 |
| 代理公司： | 上海科盛知識產權代理有限公司 31225 | 代理人： | 葉敏華 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 目標區域 半球面 激光 微鏡 激光雷達系統 微機電系統 激光掃描 廣域 信號處理裝置 目標反射 信息處理 移動模塊 激光器 反射 掃描 發射 移動 | ||
1.一種基于微機電系統的廣域激光雷達系統，包括：
激光器，用于發射激光；
MEMS微鏡裝置，用于改變激光的角度，實現對目標區域的激光掃描；
信號處理裝置，用于接收并信息處理目標區域反射的激光，得到目標反射物的位置；
其特征在于，所述MEMS微鏡裝置包括：
MEMS半球面微鏡，用于改變激光的角度，實現對目標區域的激光掃描；
移動模塊，用于固定MEMS半球面微鏡，實現MEMS半球面微鏡的移動。
2.根據權利要求1所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述移動模塊包括：
活動底座，所述MEMS半球面微鏡固定于活動底座上，用于實現MEMS半球面微鏡在平面上任意方向的移動；
施力組件，與活動底座連接，用于實現活動底座的移動。
3.根據權利要求2所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述活動底座包括底座本體、傳感芯片和柔性支撐梁，所述傳感芯片固定于底座本體內部，所述底座本體架設于柔性支撐梁上，所述MEMS半球面微鏡固定于底座本體上。
4.根據權利要求3所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述柔性支撐梁的數量至少為2個，包括水平向柔性支撐梁和垂直向柔性支撐梁。
5.根據權利要求2所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述施力組件包括靜電力施力組件、電磁力施力組件或熱應力施力組件。
6.根據權利要求5所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述靜電力施力組件包括多個通電電極，所述通電電極設置于活動底座所在平面的外側，并與活動底座連接。
7.根據權利要求6所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述通電電極的數量不少于4個，平均分布于活動底座所在平面的外側并與活動底座連接。
8.根據權利要求6所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述通電電極包括梳齒狀通電電極。
9.根據權利要求1所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述MEMS微鏡裝置還包括光向改變器，所述光向改變器設置于激光器和MEMS半球面微鏡之間，用于實現激光器發出的激光入射到MEMS半球面微鏡上。
10.根據權利要求1所述的基于微機電系統的廣域激光雷達系統，其特征在于，所述信號處理裝置包括依次連接的光信號接收器、光電信號轉化器和電信號計算芯片。
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