[發(fā)明專利]一種電阻式微傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810083667.0 | 申請日： | 2018-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN108362627B | 公開（公告）日： | 2021-04-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 桂林;王榮航;高猛 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所;中國科學(xué)院大學(xué) |
| 主分類號： | G01N15/10 | 分類號： | G01N15/10;G01N15/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩;吳歡燕 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電阻 式微 傳感器 | ||
1.一種電阻式微傳感器，其特征在于，包括待測液流道、兩個微電極流道和微電阻檢測線路；其中，
兩個所述微電極流道對稱設(shè)置于所述待測液流道的兩側(cè)，所述微電極流道內(nèi)填充導(dǎo)電液體形成微電極，所述微電極流道和所述待測液流道之間設(shè)有導(dǎo)電薄膜，所述微電極流道靠近所述待測液流道的一端設(shè)有與所述待測液流道平行的微電阻流道，所述微電阻流道、所述導(dǎo)電薄膜和所述待測液流道內(nèi)的待測液構(gòu)成微電阻；兩個所述微電極流道均與所述微電阻檢測線路相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式微傳感器，其特征在于，所述微電極流道的兩端分別設(shè)有注射口和出口，所述注射口和所述出口均通過導(dǎo)線與所述微電阻檢測線路相連接，兩個所述微電極流道之間形成檢測區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式微傳感器，其特征在于，所述微電極流道和所述待測液不相互接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式微傳感器，其特征在于，所述導(dǎo)電液體包括液態(tài)金屬、離子液體或電解質(zhì)溶液。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電阻式微傳感器，其特征在于，所述液態(tài)金屬包括室溫條件下為液態(tài)的汞、鎵、鎵銦合金、鎵銦錫合金、鉍、銦、錫、鉍銦合金和鉍銦錫合金。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式微傳感器，其特征在于，所述微電極流道的制作材料為PDMS、PMMA、石英玻璃或硅。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式微傳感器，其特征在于，所述待測液流道和所述微電極流道均為蛇形，兩個所述微電極流道對稱設(shè)置于所述待測液流道的兩側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式微傳感器，其特征在于，所述待測液流道和所述微電極流道均為螺旋型，兩個所述微電極流道對稱設(shè)置于所述待測液流道的兩側(cè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式微傳感器，其特征在于，所述微電極流道和所述待測液流道均采用MEMS制造工藝制作而成。
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