[發(fā)明專利]基于時(shí)分復(fù)用的散斑干涉三維動(dòng)態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810083410.5
• 申請(qǐng)日: 2018-01-29
• 公開（公告）號(hào): CN108168441A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陽(yáng)建宏;魏寧;張建芳;黎敏;宋金連;劉福佳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02;G01H9/00
• 代理公司: 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 11237
• 代理人: 張仲波

1.一種基于時(shí)分復(fù)用的散斑干涉三維動(dòng)態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：包括激光器(1)、斬波器(5)、CCD相機(jī)(13)、分光鏡、反射鏡和擴(kuò)束鏡，其中，分光鏡、反射鏡和擴(kuò)束鏡的數(shù)量均為一個(gè)以上，激光器(1)發(fā)射激光經(jīng)由分光鏡將激光分為兩束，其中一束光束經(jīng)分光鏡進(jìn)入斬波器(5)，在斬波器(5)的控制下由反射鏡進(jìn)入擴(kuò)束鏡，擴(kuò)束后照在物體表面；另一束光束經(jīng)由分光鏡分光后再經(jīng)過(guò)一次分光鏡，分成兩束光束，其中一束到達(dá)反射鏡，通過(guò)斬波器(5)控制到達(dá)另一反射鏡，最終通過(guò)擴(kuò)束鏡照射在待測(cè)物體表面，兩次分光后的另外一束光束經(jīng)由分光鏡反射進(jìn)入斬波器(5)，由斬波器(5)控制經(jīng)由反射鏡進(jìn)入擴(kuò)束鏡，擴(kuò)束后由分光鏡將光束反射到高速CCD相機(jī)(13)中，作為離面位移測(cè)量的參考光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于時(shí)分復(fù)用的散斑干涉三維動(dòng)態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：包括3個(gè)分光鏡、8個(gè)反光鏡和3個(gè)擴(kuò)束鏡，激光器(1)發(fā)射激光經(jīng)由分光鏡二(3)將激光分為兩束，光束一(18)經(jīng)分光鏡二(3)進(jìn)入斬波器(5)，在斬波器(5)的控制下由反射鏡四(8)、反射鏡六(10)、反射鏡七(11)和反射鏡八(12)進(jìn)入擴(kuò)束鏡三(17)，擴(kuò)束后照在物體表面；光束二(19)經(jīng)分光鏡二(3)后再由分光鏡一(2)到達(dá)反射鏡一(4)，通過(guò)斬波器(5)控制到達(dá)反射鏡三(7)，最終通過(guò)擴(kuò)束鏡一(15)照射在待測(cè)物體表面；光束三(20)的經(jīng)分光鏡二(3)后再由分光鏡一(2)反射進(jìn)入斬波器(5)，由斬波器(5)控制經(jīng)由反射鏡二(6)、反射鏡五(9)進(jìn)入擴(kuò)束鏡二(16)，擴(kuò)束后由分光鏡三(14)將光束反射到高速CCD相機(jī)(13)中，作為離面位移測(cè)量的參考光。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于時(shí)分復(fù)用的散斑干涉三維動(dòng)態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述斬波器(5)控制三束激光交替出現(xiàn)，利用光束一(18)與光束二(19)通過(guò)，光束三(20)被擋住實(shí)現(xiàn)面內(nèi)位移的測(cè)量；光束一(18)與光束三(20)通過(guò)，光束二(19)被擋住實(shí)現(xiàn)離面位移的測(cè)量。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于時(shí)分復(fù)用的散斑干涉三維動(dòng)態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述CCD相機(jī)(13)與斬波器(5)的同步由PLL速度控制電路實(shí)現(xiàn)。