[發明專利]塑封器件的失效識別方法及裝置

有效

• 申請號: 201810082596.2
• 申請日: 2018-01-29
• 公開（公告）號: CN110111293B
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 王俊
• 申請（專利權）人: 國科賽思（北京）科技有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/12;G06T7/187;G06T5/30;G06T7/62
• 代理公司: 北京瀚仁知識產權代理事務所(普通合伙) 11482
• 代理人: 郭文浩;周春梅

本發明涉及元器件缺陷檢測技術領域，具體提供了一種塑封器件的失效識別方法及裝置，旨在解決如何便捷、有效且準確地識別塑封器件是否存在缺陷的技術問題。為此目的，本發明中失效識別方法的步驟主要包括：通過超聲波顯微鏡獲取包含多個塑封器件的聲掃圖像；基于預先構建的識別模型對所獲取的聲掃圖像進行識別，得到失效塑封器件。基于上述步驟，本發明中的方法能夠對塑封器件的聲掃圖像進行自動識別，并具有較高的識別準確率。同時，本發明中的裝置能夠執行并實現上述失效識別方法。

技術領域

本發明涉及元器件缺陷檢測技術領域，具體涉及一種塑封器件的失效識別方法及裝置。

背景技術

塑封器件是指以樹脂類聚合物為材料封裝的半導體器件，通過塑封技術可以有效保護半導體器件。當前，可以采用超聲波掃描技術對塑封器件進行缺陷檢測，如內部裂紋、空洞和分層等缺陷的檢測。但是，超聲波掃描技術只能采集塑封器件的圖像信息，還需要技術人員基于相應的技術標準，并通過肉眼觀察圖像信息，判斷塑封器件是否存在缺陷，因此極易造成誤判或錯判，且當需要對大量元器件進行檢測時，肉眼判斷效率較低。

發明內容

為了解決現有技術中的上述問題，即為了解決如何便捷、有效且準確地識別塑封器件是否存在缺陷的技術問題。為此目的，本發明提供了一種塑封器件的失效識別方法及裝置。

在第一方面，本發明中的塑封器件的失效識別方法包括：

通過超聲波顯微鏡獲取包含多個塑封器件的聲掃圖像；

基于預先構建的識別模型對所獲取的聲掃圖像進行識別，得到失效塑封器件；

其中，所述識別模型為基于機器學習算法構建的模型，其訓練方法的包括：

通過超聲波顯微鏡獲取包含多個塑封器件樣本的聲掃圖像；

提取所述聲掃圖像中每個塑封器件樣本的局部圖像；

對所提取的局部圖像進行篩選，得到潛在失效樣本的局部圖像；

提取所述潛在失效樣本的局部圖像的圖像特征；

基于所提取的圖像特征，對識別模型進行網絡訓練，得到優化后的識別模型。

進一步地，本發明提供的一個優選技術方案為：

“提取所述聲掃圖像中每個塑封器件樣本的局部圖像”的步驟具體包括：

裁剪去除所述聲掃圖像的邊界；

對裁剪后的聲掃圖像依次進行灰度化處理、濾波、二值化處理和二次濾波處理；

對經所述灰度化處理、濾波、二值化處理和二次濾波處理后的聲掃圖像進行膨脹處理，以使聲掃圖像中每個塑封器件樣本的引腳區域和器件主體區域形成一個連通區域；

獲取包含每個連通區域的最小矩形框，并選取所獲取的矩形框中長度處于預設長度范圍，并且寬度處于預設寬度范圍的矩形框；

根據所選取的矩形框，對通過所述超聲波顯微鏡獲取的原始聲掃圖像進行分割，得到每個塑封器件樣本的局部圖像。

進一步地，本發明提供的一個優選技術方案為：

“對所提取的局部圖像進行篩選，得到潛在失效樣本的局部圖像”的步驟具體包括：

對所述局部圖像進初步篩選，得到包含潛在缺陷的局部圖像；

對所述局部圖像進行二次篩選，以去除所述初步篩選得到的局部圖像中，潛在缺陷均為噪聲點的局部圖像；其中，所述噪聲點為在局部圖像中孤立存在且面積小于預設閾值的潛在缺陷。

進一步地，本發明提供的一個優選技術方案為：