[發明專利]雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機及其驅動方法在審
| 申請號: | 201810081821.0 | 申請日: | 2018-01-29 |
| 公開(公告)號: | CN108199614A | 公開(公告)日: | 2018-06-22 |
| 發明(設計)人: | 程廷海;王舒揚;唐晚靜;邢輝達;寧鵬;楊晨 | 申請(專利權)人: | 長春工業大學 |
| 主分類號: | H02N2/04 | 分類號: | H02N2/04;H02N2/06 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 130012 吉林*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 非對稱式 驅動組件 壓電 粘滑 導軌組件 直線電機 放大型 微位移 驅動 精密 光學精密儀器 半導體加工 側向位移 負載能力 精密驅動 驅動模式 輸出推力 運動穩定 綜合調控 單定子 非對稱 固定臺 加載器 預緊力 正壓力 滑臺 急停 馬達 輸出 應用 | ||
1.一種雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機,其特征在于:該直線電機包括非對稱式驅動組件(1)、導軌組件(2)、滑臺(3)、預緊力加載器(4)和固定臺(5);其中,兩個非對稱式驅動組件(1)并聯安裝在固定臺(5)前端部,導軌組件(2)安裝在滑臺(3)上,滑臺(3)安裝在固定臺(5)上,預緊力加載器(4)安裝在固定臺(5)后端部;所述非對稱式驅動組件(1)包括方形墊片(1-1)、鉸鏈固定螺栓(1-2)、預緊螺釘(1-3)、非對稱式菱形放大機構(1-4)和壓電疊堆(1-5);所述方形墊片(1-1)和預緊螺釘(1-3)將壓電疊堆(1-5)固定在非對稱式菱形放大機構(1-4)內;所述鉸鏈固定螺栓(1-2)安裝在非對稱式菱形放大機構(1-4)后端部;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)可采用5025鋁合金、6061鋁合金、7075鋁合金、Ti-35A鈦合金或Ti-13鈦合金材料;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)右側設置有單棱邊幾何柔性鉸鏈(1-4-1);所述非對稱式菱形放大機構(1-4)兩側均設置有剛性連接梁Ⅰ(1-4-2),該剛性連接梁連接同側的兩個圓弧形柔性鉸鏈(1-4-6)結構;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)后端部設置有鉸鏈固定螺栓安裝孔(1-4-3),通過鉸鏈固定螺栓(1-2)與鉸鏈安裝螺紋孔(5-6)的螺紋連接,固定非對稱式菱形放大機構(1-4)在滑臺(3)上;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)尾部設置有預緊螺釘安裝螺紋孔(1-4-4),所述預緊螺釘(1-3)通過預緊螺釘安裝螺紋孔(1-4-4)實現對壓電疊堆(1-5)的軸向預緊;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)設置有墊片限位槽(1-4-5);所述非對稱式菱形放大機構(1-4)左側設置有剛性連接梁Ⅱ(1-4-7),所述圓弧形柔性鉸鏈(1-4-6)通過剛性連接梁Ⅱ(1-4-7)與前端部的橫梁(1-4-9)進行連接;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)頂部設置有半圓形驅動足(1-4-8);所述非對稱式菱形放大機構(1-4)前端部設置有橫梁(1-4-9)。
2.根據權利要求1所述一種雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機,其特征在于:所述導軌組件(2)為雙列交叉滾柱導軌;所述導軌組件(2)包括固定導軌(2-1)、外圍裝置安裝螺紋孔(2-2)、活動導軌(2-3)、限位螺栓(2-4)、導軌安裝孔(2-5)、導軌固定螺栓(2-6)和滾柱保持架組件(2-7);所述外圍裝置安裝螺紋孔(2-2)可與外圍裝置連接;所述滾柱保持架組件(2-7)分別與活動導軌(2-3)和固定導軌(2-1)接觸;所述限位螺栓(2-4)安裝于固定導軌(2-1)和活動導軌(2-3)兩端;所述導軌安裝孔(2-5)通過導軌固定螺栓(2-6)與導軌安裝螺紋孔(3-1)螺紋連接,安裝固定導軌(2-1)在滑臺(3)的導軌安裝平面(3-2)上。
3.根據權利要求1所述一種雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機,其特征在于:所述滑臺(3)包括導軌安裝螺紋孔(3-1)、導軌安裝平面(3-2)、預緊力加載器凹槽(3-3)、上限位螺釘(3-4)、支撐架(3-5)、上彈簧固定螺栓(3-6)和上滑動軌道(3-7);所述導軌安裝螺紋孔(3-1)與導軌固定螺栓(2-6)螺紋連接;所述導軌組件(2)通過導軌安裝螺紋孔(3-1)安裝在導軌安裝平面(3-2)上;所述預緊力加載器凹槽(3-3)與預緊力加載器(4)上的頂端解耦球頭(4-2)接觸;所述上限位螺釘(3-4)安裝在上滑動軌道(3-7)的兩端;所述支撐架(3-5)與滑動凸臺安裝平面(5-3)接觸;所述上彈簧固定螺栓(3-6)配合下彈簧固定螺栓(5-1)安裝固定彈簧(5-2);所述上滑動軌道(3-7)與球形滑動導軌(5-8)接觸。
4.根據權利要求1所述一種雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機,其特征在于:所述預緊力加載器(4)包括手動調節螺桿(4-1)和解耦球頭(4-2);所述手動調節螺桿(4-1)的外螺紋與預緊力加載器安裝螺紋孔(5-12)的內螺紋進行螺紋連接配合;所述解耦球頭(4-2)與預緊力加載器凹槽(3-3)接觸。
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