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[發明專利]雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機及其驅動方法在審

專利信息
申請號: 201810081821.0 申請日: 2018-01-29
公開(公告)號: CN108199614A 公開(公告)日: 2018-06-22
發明(設計)人: 程廷海;王舒揚;唐晚靜;邢輝達;寧鵬;楊晨 申請(專利權)人: 長春工業大學
主分類號: H02N2/04 分類號: H02N2/04;H02N2/06
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 130012 吉林*** 國省代碼: 吉林;22
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摘要:
搜索關鍵詞: 非對稱式 驅動組件 壓電 粘滑 導軌組件 直線電機 放大型 微位移 驅動 精密 光學精密儀器 半導體加工 側向位移 負載能力 精密驅動 驅動模式 輸出推力 運動穩定 綜合調控 單定子 非對稱 固定臺 加載器 預緊力 正壓力 滑臺 急停 馬達 輸出 應用
【權利要求書】:

1.一種雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機,其特征在于:該直線電機包括非對稱式驅動組件(1)、導軌組件(2)、滑臺(3)、預緊力加載器(4)和固定臺(5);其中,兩個非對稱式驅動組件(1)并聯安裝在固定臺(5)前端部,導軌組件(2)安裝在滑臺(3)上,滑臺(3)安裝在固定臺(5)上,預緊力加載器(4)安裝在固定臺(5)后端部;所述非對稱式驅動組件(1)包括方形墊片(1-1)、鉸鏈固定螺栓(1-2)、預緊螺釘(1-3)、非對稱式菱形放大機構(1-4)和壓電疊堆(1-5);所述方形墊片(1-1)和預緊螺釘(1-3)將壓電疊堆(1-5)固定在非對稱式菱形放大機構(1-4)內;所述鉸鏈固定螺栓(1-2)安裝在非對稱式菱形放大機構(1-4)后端部;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)可采用5025鋁合金、6061鋁合金、7075鋁合金、Ti-35A鈦合金或Ti-13鈦合金材料;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)右側設置有單棱邊幾何柔性鉸鏈(1-4-1);所述非對稱式菱形放大機構(1-4)兩側均設置有剛性連接梁Ⅰ(1-4-2),該剛性連接梁連接同側的兩個圓弧形柔性鉸鏈(1-4-6)結構;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)后端部設置有鉸鏈固定螺栓安裝孔(1-4-3),通過鉸鏈固定螺栓(1-2)與鉸鏈安裝螺紋孔(5-6)的螺紋連接,固定非對稱式菱形放大機構(1-4)在滑臺(3)上;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)尾部設置有預緊螺釘安裝螺紋孔(1-4-4),所述預緊螺釘(1-3)通過預緊螺釘安裝螺紋孔(1-4-4)實現對壓電疊堆(1-5)的軸向預緊;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)設置有墊片限位槽(1-4-5);所述非對稱式菱形放大機構(1-4)左側設置有剛性連接梁Ⅱ(1-4-7),所述圓弧形柔性鉸鏈(1-4-6)通過剛性連接梁Ⅱ(1-4-7)與前端部的橫梁(1-4-9)進行連接;所述非對稱式菱形放大機構(1-4)頂部設置有半圓形驅動足(1-4-8);所述非對稱式菱形放大機構(1-4)前端部設置有橫梁(1-4-9)。

2.根據權利要求1所述一種雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機,其特征在于:所述導軌組件(2)為雙列交叉滾柱導軌;所述導軌組件(2)包括固定導軌(2-1)、外圍裝置安裝螺紋孔(2-2)、活動導軌(2-3)、限位螺栓(2-4)、導軌安裝孔(2-5)、導軌固定螺栓(2-6)和滾柱保持架組件(2-7);所述外圍裝置安裝螺紋孔(2-2)可與外圍裝置連接;所述滾柱保持架組件(2-7)分別與活動導軌(2-3)和固定導軌(2-1)接觸;所述限位螺栓(2-4)安裝于固定導軌(2-1)和活動導軌(2-3)兩端;所述導軌安裝孔(2-5)通過導軌固定螺栓(2-6)與導軌安裝螺紋孔(3-1)螺紋連接,安裝固定導軌(2-1)在滑臺(3)的導軌安裝平面(3-2)上。

3.根據權利要求1所述一種雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機,其特征在于:所述滑臺(3)包括導軌安裝螺紋孔(3-1)、導軌安裝平面(3-2)、預緊力加載器凹槽(3-3)、上限位螺釘(3-4)、支撐架(3-5)、上彈簧固定螺栓(3-6)和上滑動軌道(3-7);所述導軌安裝螺紋孔(3-1)與導軌固定螺栓(2-6)螺紋連接;所述導軌組件(2)通過導軌安裝螺紋孔(3-1)安裝在導軌安裝平面(3-2)上;所述預緊力加載器凹槽(3-3)與預緊力加載器(4)上的頂端解耦球頭(4-2)接觸;所述上限位螺釘(3-4)安裝在上滑動軌道(3-7)的兩端;所述支撐架(3-5)與滑動凸臺安裝平面(5-3)接觸;所述上彈簧固定螺栓(3-6)配合下彈簧固定螺栓(5-1)安裝固定彈簧(5-2);所述上滑動軌道(3-7)與球形滑動導軌(5-8)接觸。

4.根據權利要求1所述一種雙向微位移放大型精密壓電粘滑直線電機,其特征在于:所述預緊力加載器(4)包括手動調節螺桿(4-1)和解耦球頭(4-2);所述手動調節螺桿(4-1)的外螺紋與預緊力加載器安裝螺紋孔(5-12)的內螺紋進行螺紋連接配合;所述解耦球頭(4-2)與預緊力加載器凹槽(3-3)接觸。

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