[發明專利]一種熱絲CVD化學氣相沉積的自動中心對準裝置和方法在審
| 申請號： | 201810081535.4 | 申請日： | 2018-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN108103477A | 公開（公告）日： | 2018-06-01 |
| 發明（設計）人： | 葛強;李發業 | 申請（專利權）人： | 珠海中納金剛石有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/27 | 分類號： | C23C16/27 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 俞梁清 |
| 地址： | 519000 廣東省珠海*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 瞄準鏡 熱絲 模具 化學氣相沉積 模具固定架 對準裝置 自動中心 熱絲CVD 安裝架 定位架 內孔 歪斜 活動設置 生產效率 同一軸線 外側設置 成品率 有效地 穿過 生產 | ||
1.一種熱絲CVD化學氣相沉積的自動中心對準裝置，包括機架，其特征在于：所述機架上設置有模具固定架，所述模具固定架的兩側均設置有熱絲定位架，一熱絲定位架的外側設置瞄準鏡安裝架，所述瞄準鏡安裝架上活動設置有瞄準鏡。
2.根據權利要求1所述的熱絲CVD化學氣相沉積的自動中心對準裝置，其特征在于：所述模具固定架上設置有容模具放置的V型槽或楔形槽。
3.根據權利要求1所述的熱絲CVD化學氣相沉積的自動中心對準裝置，其特征在于：所述熱絲定位架包括彈簧定位架和壓片定位架。
4.根據權利要求3所述的熱絲CVD化學氣相沉積的自動中心對準裝置，其特征在于：所述彈簧定位架包括兩側的豎桿，架設在豎桿之間的橫桿，架設在橫桿前方的彈簧。
5.根據權利要求4所述的熱絲CVD化學氣相沉積的自動中心對準裝置，其特征在于：所述橫桿上還套設有定位環，所述定位環的圓周面上設置有容熱絲卡入的限位槽。
6.根據權利要求3所述的熱絲CVD化學氣相沉積的自動中心對準裝置，其特征在于：所述壓片定位架包括豎直設置的立桿，所述立桿上套設有上壓片和下壓片，所述立桿上還螺紋連接有鎖緊螺母，所述鎖緊螺母分別位于上壓片和下壓片的上下表面。
7.一種熱絲CVD化學氣相沉積的自動中心對準方法，其特征在于：包括以下步驟，
1)將模具放置在模具固定架上，將瞄準鏡放置在瞄準鏡安裝架上；
2)調節瞄準鏡的位置，將模具作為靶子，模具內孔作為靶心，找到模具的內孔中心位置；
3)將熱絲穿過模具的內孔中心，熱絲的兩端固定在兩側的熱絲定位架上；
4)繼續利用瞄準鏡進行校準，調節熱絲的位置，使得熱絲與模具的內孔中心完全對齊；
5)熱絲位置調整完成后，固定熱絲位置。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
