[發明專利]一種可見到紅外波段寬帶吸收器及其制備方法

在審

• 申請號: 201810081464.8
• 申請日: 2018-01-29
• 公開（公告）號: CN108303758A
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 韓彩芹;王洪峰;閆長春;趙奕平
• 申請（專利權）人: 江蘇師范大學
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可見到近紅外寬帶吸收器，其特征在于：包括基片，其特征在于:在所述基片上從下到上依次設有聚苯乙烯小球單層膜層以及由金屬吸收層和非金屬介質層相互交替構成的交替膜層，金屬介質層靠近底部聚苯乙烯小球單層膜層；所述金屬吸收層由一個或多個金屬吸收層單元組成，所述非金屬介質層由一個或多個金屬吸收層單元組成。

2.根據權利要求1所述的一種可見到近紅外寬帶吸收器，其特征在于：所述基片采用硅晶片或玻璃片制作。

3.根據權利要求1所述的一種可見到近紅外寬帶吸收器，其特征在于：所述聚苯乙烯小球單層膜層中小球的直徑≦1000nm。

4.根據權利要求1所述的一種可見到近紅外寬帶吸收器，其特征在于：所述金屬吸收層采用銀制作。

5.根據權利要求1所述的一種可見到近紅外寬帶吸收器，其特征在于，所述非金屬介質層的采用二氧化硅制作。

6.根據權利要求4或5所述的一種可見到近紅外寬帶吸收器，其特征在于：所述金屬吸收層和非金屬介質層的厚度為10nm-30nm。

7.一種權利要求1-6任一所述的可見到近紅外寬帶吸收器制備方法，其特征在于：具體步驟如下：

(1)根據吸收帶寬要求和吸收率的要求，通過優化設計得出各層膜的厚度；

(2)配制洗液清洗基片，然后用去離子水沖洗干凈，氮氣吹干，固定在真空沉積室中；

(3)濃度為聚苯乙烯球水溶液與無水乙醇均勻混合,比例為1：1,并超聲20分鐘，將混合液滴于液面后沉降于經過步驟(2)處理的基片上并烘干,形成聚苯乙烯小球單層膜層；

(4)在壓力小于1×10^-6Torr的真空沉積室中，通過電子束蒸發，在步驟(3)的基片上，先以0.1nm/s的速度沉積金屬吸收層和非金屬介質層，且旋轉基片使其法線與沉積方向夾角為75°-85°，每個金屬吸收層和非金屬介質層單元的樣品臺方位旋轉角可以調控。

8.根據權利要求7所述的一種可見到近紅外寬帶吸收器制備方法，其特征在于：步驟(2)中所述洗液采用體積比為8:2的98％硫酸和30％雙氧水的混合溶液，或者體積比為5:1:1的去離子水、過氧化氫、氫氧化銨的混合溶液。