[發明專利]浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置

在審

• 申請號: 201810078513.2
• 申請日: 2018-01-26
• 公開（公告）號: CN108322983A
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: 雷冰瑩;李靜;湯潔;王靜;王屹山;張同意;趙衛;段憶翔
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 胡樂

1.浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：包括由絕緣材料制成的圓筒形的主體腔室，主體腔室的一端作為進氣端口，另一端作為出氣端口，出氣端口的直徑不大于10mm；主體腔室的外壁依次緊密套接有均為圓筒形的浮動電極、接地電極，其中接地電極靠近出氣端口；在主體腔室的軸心處固定設置有柱形的高壓電極，高壓電極與主體腔室內壁的間距為0.5-4.5mm，高壓電極從進氣端口伸入主體腔室內且末端與浮動電極所在軸向位置相對應，高壓電極、浮動電極與接地電極的軸向距離為10-20mm，通過在高壓電極和接地電極兩端加載交流電源、浮動電極保持開路狀態，使得：高壓電極、浮動電極以及兩者之間充當絕緣介質層的腔壁形成介質阻擋放電的預放電單元，高壓電極、接地電極以及兩者之間充當絕緣介質層的腔壁形成介質阻擋放電構成主放電單元。

2.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：高壓電極、浮動電極與接地電極的軸向距離相等。

3.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：所述交流電源的頻率從工頻至13.56MHz的射頻范圍內可調，電源模式為連續或脈沖形式；電壓幅值為1000-9000伏。

4.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：主放電功率不大于10W，工作氣體流速為0.01-10L/min。

5.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：所述主體腔室由玻璃、石英或陶瓷材料制成。

6.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：所述高壓電極、接地電極、浮動電極均為銅、鋁、鎢、鎳、鉭、鉑或其合金制成的電極。

7.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：所述高壓電極為圓柱形，直徑0.5-5mm，高壓電極的放電頂端為圓弧形。

8.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：所述接地電極和浮動電極均為薄片圓筒結構，厚度不大于1mm，軸向長度為5-15mm。

9.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：所述接地電極距離出氣端口3-8mm。

10.根據權利要求1所述的浮動電極增強介質阻擋放電彌散等離子體射流發生裝置，其特征在于：所述高壓電極通過設置于主體腔室內的環形塞實現與主體腔室的相對固定，高壓電極從環形塞中心貫通，環形塞上對稱設置有若干通氣孔作為氣流通道。