[發明專利]真空泵

在審

• 申請號: 201810078329.8
• 申請日: 2018-01-26
• 公開（公告）號: CN108691811A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發明（設計）人: 坪川徹也
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D29/58
• 分類號: F04D29/58;F04D19/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發明使隔熱部件的加工性與加工精度提高。真空泵包括基座(3)、在殼體內旋轉的馬達、由馬達旋轉驅動的轉子圓筒部(42)、設置在轉子圓筒部(42)與基座(3)之間的定子(20)、及設置在定子(20)與基座(3)之間的隔熱部件(50)。隔熱部件(50)包括圓筒形狀的圓筒部(51)、及設置于圓筒部(51)的內周面的加工用被夾持部即突部(52)。

技術領域

本發明涉及一種真空泵。

背景技術

對于利用渦輪分子泵使腔室內成為高真空而進行化學氣相沉積(Chemical VaporDeposition，CVD)成膜或蝕刻的裝置來說，根據排出氣體的種類，氣體會在泵內部凝聚，生成物容易附著在泵內。已知有如下渦輪分子泵，所述渦輪分子泵為了抑制此種生成物附著于螺桿槽泵段等，隔著隔熱部件將定子(stator)固定于殼體，由此來抑制定子溫度的下降(例如參照專利文獻1)。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2015-151932號公報。

發明內容

[發明所要解決的問題]

但是，所述專利文獻并未涉及隔熱部件的與殼體或定子接觸的接觸面的機械加工。

[解決問題的技術手段]

(1)本發明的一形態的真空泵包括：泵框體；馬達，在泵框體內旋轉；轉子，由馬達旋轉驅動；定子，設置在轉子與泵框體之間；以及隔熱部件，設置在定子與泵框體之間，隔熱部件包括圓筒形狀的主體、及設置于主體的內周面及外周面中的至少一個面的加工用被夾持部。

(2)優選隔熱部件在主體的內周面及外周面分別包括加工用被夾持部。

(3)更優選的形態的真空泵的主體包括沿著軸方向分割而成的至少第一圓筒部及第二圓筒部，第一圓筒部及第二圓筒部各自在所述內周面及外周面中的至少一個面分別包括加工用被夾持部。

(4)更優選的形態的真空泵在隔熱部件的圓筒形狀的主體的上下兩端，未形成沿著外周方向延伸的凸緣。

[發明的效果]

根據本發明，能夠提供如下隔熱部件，即使將加工對象部位加工為薄壁，隔熱部件的圓筒形狀的主體也不會變形，且加工精度高。。

附圖說明

圖1是表示真空泵的一例即渦輪分子泵的圖。

圖2是圖1的點劃線的圓所包圍的部分的放大圖。

圖3是沿著圓筒的軸方向將隔熱部件切斷所得的示意性立體剖視圖。

圖4是示意性地表示利用加工夾具夾持著突部的狀態的剖視圖。

圖5是表示變形例的圖。

圖6是表示變形例的圖。

圖7是表示變形例的圖。

【主要元件符號說明】

1：泵單元 2：控制單元

3：基座 4：泵轉子(轉子)

5：軸 10：馬達定子

11：馬達轉子 20：定子

21、301：段部 21a：下表面

21b、301b：側面 30：泵殼